고객사 소개: 싱가포르에 본사를 둔 선도적인 반도체 제조 기업으로, 고정밀 웨이퍼 테스트 공정과 반도체 산업 혁신에 대한 헌신으로 명성이 높습니다.

산업 분야: 반도체 제조

도전 과제 :

고객사는 기존 ACCRETECH SS20 웨이퍼 검사 장비와 제조 실행 시스템(MES) 간의 데이터 통신 자동화에 어려움을 겪었습니다. 수동 데이터 입력으로 인해 비효율성이 발생하고 의사 결정이 지연되었으며, 작업자 오류 발생 위험이 증가했습니다. 또한, 표준화된 SECS/GEM 통합이 부족하여 공장 자동화 로드맵의 확장성이 저해되었습니다.

해결 방법 :

이러한 문제들을 해결하기 위해 소형 플러그 앤 플레이 방식의 SECS/GEM 연결 솔루션인 EIGEMBox 가 도입되었습니다. 이를 통해 SS20 장비와 MES 시스템 간의 원활한 통신이 가능해졌으며, 장비 펌웨어를 크게 수정할 필요가 없었습니다.

해결책의 핵심 요소는 다음과 같습니다.

  • EIGEMBox의 모듈형 구성 시스템을 활용한 신속한 SECS/GEM 활성화
  • 프로세스 추적성을 위한 GEM 이벤트 및 데이터 변수의 사용자 지정 매핑
  • 호스트 시스템에서 도구를 실시간으로 모니터링하고 제어합니다.
  • 배포 중 가동 중지 시간을 최소화하여 중단 없는 운영을 보장합니다.

테스트 및 검증:

통합 프로세스는 시뮬레이션, 검증 및 운영 테스트를 포함하는 체계적인 계획에 따라 진행되었습니다.

  • 초기 시뮬레이션: SS20의 디지털 트윈을 구성하여 통제된 환경에서 GEM 이벤트를 테스트했습니다.
  • 필드 검증: 장비 설치 및 MES와의 핸드셰이크 검증은 3일 동안 진행되었습니다.
  • 생산 테스트: 실제 작업 실행 주기를 모니터링했으며, 데이터 정확성과 통신 신뢰성을 평가하기 위해 500개 이상의 웨이퍼를 처리했습니다.
  • 메시지 교환에서 불일치는 발견되지 않았으며, 로깅 진단을 통해 거래 일관성이 100%임을 확인했습니다.

결과 :

  • 100% SECS/GEM 규정 준수: SEMI 표준을 완벽하게 준수함으로써 고객은 산업 4.0 시대에 발맞춰 규모를 확장할 수 있었습니다.
  • 수동 개입 80% 감소: 자동화된 데이터 수집 및 작업 배정으로 운영 효율성이 향상되었습니다.
  • 실시간 가시성: 엔지니어들은 웨이퍼 검사 성능에 대한 원격 정보를 얻어 대응 속도를 향상시켰습니다.
  • 표준화된 프레임워크: 이번 통합을 통해 고객사는 자사 공장 전반에 걸쳐 향후 도구 도입을 위한 청사진을 마련했습니다.

클라이언트 피드백:

"저희 팀은 SECS/GEM 통합을 위한 비침습적 솔루션에 대해 회의적이었지만, EIGEMBox는 유연성과 성능 면에서 그 가능성을 입증했습니다. 간편한 설치와 명확한 설명서 덕분에 복잡한 작업이 놀라울 정도로 수월하게 진행되었습니다. 이제 다른 기존 장비에도 유사한 방식을 적용하는 방안을 검토하고 있습니다."

- 자동화 부문 수석 장비 관리자