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SECS / GEM 데이터 항목 – Fab 자동화 서비스

SECS / GEM은 제어 및 모니터링 목적으로 장비와 팹 호스트 소프트웨어 간의 표준 통신 프로세스를 정의하는 산업 표준입니다. SECS / GEM 장비를 연결하면 팹이 즉시 운영상의 이점을 얻을 수 있습니다. 공장 호스트는 여러 방법으로 데이터를 수집 할 수 있습니다. . 이벤트 보고서와 함께 팹 호스트는 종종 현재 데이터 값에 대해 장비를 폴링해야합니다. 호스트는 데이터 값을 직접 요청하거나 추적 보고서에서 주기적으로 샘플링 할 수 있습니다.이 프로세스를 데이터 폴링이라고합니다.

SECS / GEM 표준에 정의 된 데이터 항목에는 세 가지 범주가 있습니다.

상태 변수 (SV)

상태 변수는 센서, 미터 등과 같은 장비 또는 구성 요소의 상태를 식별하는 데이터 항목입니다. 공정 장비에 대한 상태 변수의 예는 온도, 압력, 가스 흐름, RF 순방향 전력, 회전 속도, 등. 이러한 데이터 항목은 일반적으로 로트 시작, 웨이퍼 시작 등과 같은 이벤트에 첨부되지 않습니다. 공장 호스트는 언제든지 장비에 상태 변수를 쿼리하거나 장비에 상태 변수 공급을 요청하는 추적 데이터 설정을 정의 할 수 있습니다. 공장 호스트는 장비의 상태 변수를 변경할 수 없습니다.

데이터 값 변수 (DV)

데이터 값 변수는 로트 시작, 장비에서 발생하는 알람 / 오류, 웨이퍼 처리 / 측정 완료 등과 같은 특정 이벤트와 관련된 데이터 항목입니다. 데이터 값 변수의 예는 – LotID, SlotNumber, CurrentRecipe 등입니다. 이러한 변수는 레시피 선택, 로트 처리 시작 등과 같은 특정 이벤트가 발생할 때만 변경됩니다. 공장 호스트는 보고서를 정의하고 보고서를 이벤트에 연결하여 데이터 값 변수를 쿼리합니다.

 

상태 변수와 달리 데이터 값 변수에는 값이 없을 수 있습니다. 예를 들어, 데이터 값 변수 중 하나는 가장 최근 경보의 ID를 지정하는 AlarmID입니다. 장비가 켜진 상태 공장 호스트는 장비의 데이터 변수를 변경할 수 없습니다.

장비 상수 (EC)

장비 상수는 장비의 구성과 관련된 데이터 항목으로, 장비 하드웨어, 소프트웨어 또는 SECS / GEM 소프트웨어와 관련된 항목을 포함 할 수 있습니다. 상태 변수 및 데이터 값 변수와 달리 공장 호스트는 SECS 메시지를 통해 장비 상수를 변경할 수 있습니다. 장비 상수의 개수는 – PumpDown Time Limit, Equipment Standby Time, Pins Up Wait 등입니다.

데이터 속성 :

위에 나열된 데이터 유형은 유사한 속성을 가지고 있으므로 데이터를 정의하는 것이 편리합니다. 장비 공급 업체는 팹 호스트가 데이터를 이해하고 통신 할 수 있도록 SECS / GEM 매뉴얼에 이러한 속성을 제공해야합니다. 아래는 일부입니다. 데이터 유형의 중요한 데이터 속성 :

ID – SECS / GEM 인터페이스에서 고유해야하는 숫자 ID입니다. 이러한 ID는 데이터 유형별로 그룹화 할 수 있으며 SVID (상태 변수 ID), DVID (데이터 변수 ID) 및 ECID (수집 이벤트 ID)라고합니다. .

이름 – 쉽게 식별 할 수 있도록 데이터 항목에 할당 된 이름입니다.

형식 – 항목의 데이터 유형입니다.

데이터 형식은 단순 (숫자, ASCII, 부울) 또는 복합 (배열, 목록, 구조) 일 수 있습니다. 예를 들어 숫자 유형은 I1, I2, I4, I8 (다른 바이트 길이의 부호있는 정수 유형), U1, U2, U4, U8 (부호없는 정수 유형) 및 F4 또는 F8 (부동 소수점 유형).

배열 유형 및 목록은 데이터 항목에 여러 값을 포함합니다. 예를 들어, 이미지 데이터는 바이트 배열로 형식화됩니다.

구조 유형에는 특정 유형의 데이터가 포함됩니다. 예를 들어, 변수는 캐리어 정보가 포함 된 슬롯 맵과 웨이퍼 배치 상태가있는 슬롯 목록을 나타낼 수 있습니다.

값 – 데이터 항목의 실제 값입니다. 데이터 값은 정확하고 효율적이며 자체 설명이 가능한 바이너리 형식으로되어있어 호스트가 데이터를 쉽게 해석 할 수 있습니다. 데이터 형식을 사용하면 더 많은 데이터를 수집하고 효율성을 높일 수 있습니다.

경보 및 수집 이벤트 (CE)에는 식별을위한 ID와 이름도 있습니다.

데이터 폴링 :

팹 호스트는 종종 이벤트 보고서 및 추적 보고서를 통해 정기적으로 데이터를 가져오고 정의한대로 데이터를 가져옵니다. SECS / GEM은 팹 호스트가 필요에 따라 데이터를 폴링 할 수있는 시스템도 제공합니다.

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