Bagaimana Analisis Penggera Sejarah Membantu Fabrik Semikonduktor Menghapuskan Penggera Proses CMP Berulang
Sebuah kilang semikonduktor terkemuka menghadapi kesukaran untuk mengesahkan penggera proses CMP berulang kerana sistem penggera legasinya kekurangan analitik sejarah. Menggunakan Sistem Pengurusan Penggera (AMS) eInnoSys, jurutera menganalisis trend penggera sejarah, mengenal pasti hanyutan proses berulang pada satu mesin, mendapatkan kelulusan untuk perubahan resipi dan berjaya menghapuskan lonjakan penggera petang berulang melalui pembuatan keputusan berpandukan data.
Hasil Utama
- Analisis punca utama 80% lebih pantas
- Pengurangan 50% dalam penggera proses berulang
- Keterlihatan penggera sejarah 100%
- 90% Lebih banyak keputusan kejuruteraan berasaskan data
- Kelulusan perubahan resipi proses yang lebih pantas