當我們談論SEMI，SECS和GEM時。首先讓我們了解這些縮寫是什麼。 SECS指半導體設備通信標準，GEM指製造設備通信和控制的通用設備模型，SEMI代表半導體設備材料倡議。 半導體設備材料倡議（SEMI）開發了一套稱為SECS / GEM的標準。這些標準用於定義自動化設備和主機之間的一組通信協議。 SEMI標准在1970年代某個地方出現。引入這種標準背後的想法是支持小型但蓬勃發展的半導體行業。 SEMI帶來了各種半導體設備和Fab主機之間的通信協議標準。這就消除了對特定於設備或Fab主機的通信規範的需求。這樣，這些標準類似於如何為網絡通信定義TCP / IP協議或為串行通信定義RS232。 早期，沒有標準的過程可以處理半導體設備和Fab主機之間的通信。這曾經導致半導體行業的高成本和低性能。因此，這就需要採用標準流程來解決這種情況。那就是SECS / GEM的SEMI標準誕生的地方。 SECS / GEM標準必須同時在主機和設備上實施。設備在其分配的計算機上運行軟件，該軟件實現並符合各種SEMI標準，例如E30，E4，E5和E30。同樣，工廠運行需要實施必要軟件以實現完全相同的SEMI標準的主機軟件，以便它可以與設備以相同的“語言”進行通信。 更多細節
