Equipment Performance Tracking

01 Sep: 实施SECS / GEM和GEM300标准

EIGEMSim是eInnoSys的SECS / GEM软件产品,可以用作Fab主机或设备的仿真器,以进行一致性测试。 如果您已经从另一家公司购买了SECS / GEM或GEM300软件的许可证,eInnoSys仍然可以帮助您将该软件与您的控制器软件集成在一起,并在减少集成时间和成本方面受益于我们丰富的经验。 GEM300涵盖以下SEMI标准: E39 –对象服务标准 E40 –流程作业管​​理 E87 – CMS(运营商管理规范) E90 –基板追踪 E94 –控制工作管理 此外,工厂客户可能会要求遵循以下其他SEMI标准: E116…