EINNOSYS开发了EIGEMSim软件应用程序，以帮助OEM和晶圆厂/装配体测试设备上SECS / GEM的SEMI符合性。 EIGEMSim SECS / GEM模拟器可以配置为根据使用情况模拟设备或工厂主机。它允许创建，配置，传输和接收SECS消息。 EIGEMSim通过消息字典简化了消息传输。 有两种创建和配置SECS消息的方法-通过EIGEMSim中的向导，或在文本编辑器中以SML格式键入它们，然后在EIGEMSim中打开SML文件。已记录所有发送和接收的消息。 EIGEMSim（SECS / GEM模拟器）的功能： 在Windows和Linux上运行 预先配置了最常用的SECS消息，以快速启动和运行合规性测试 用户友好和直观的用户界面，用于配置和发送消息。 提供所有传入和传出消息的日志。 SECS GEM模拟器功能 SECS GEM模拟器…
SECS / GEM功能
SECS（SEMI设备通信标准）/ GEM（通用设备模型）是用于半导体设备和Fab主机之间通信的通信接口协议。 Fab主机是一个软件应用程序，它使用SECS / GEM协议来控制和监视设备处理。符合SECS / GEM的设备可以使用TCP / IP（使用SEMI标准E37和E37.1 – HSMS）或RS-232（使用SEMI标准E4 – SECS-1）与fab主机进行通信。 SECS / GEM标准界面用于启动和停止设备处理，收集测量数据，选择产品配方以及更改变量。使用SECS / GEM，所有这些都可以以标准方式执行。 SECS /…