SECS（SEMI设备通信标准）/ GEM（通用设备模型）是用于半导体设备和Fab主机之间通信的通信接口协议。 Fab主机是一个软件应用程序，它使用SECS / GEM协议来控制和监视设备处理。符合SECS / GEM的设备可以使用TCP / IP（使用SEMI标准E37和E37.1 – HSMS）或RS-232（使用SEMI标准E4 – SECS-1）与fab主机进行通信。 SECS / GEM标准界面用于启动和停止设备处理，收集测量数据，选择产品配方以及更改变量。使用SECS / GEM，所有这些都可以以标准方式执行。 SECS /…
