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SECS / GEM简介

SECS(SEMI设备通信标准)/ GEM(通用设备模型)是用于半导体设备和Fab主机之间通信的通信接口协议。 Fab主机是一个软件应用程序,它使用SECS / GEM协议来控制和监视设备处理。符合SECS / GEM的设备可以使用TCP / IP(使用SEMI标准E37和E37.1 – HSMS)或RS-232(使用SEMI标准E4 – SECS-1)与fab主机进行通信。 SECS / GEM标准界面用于启动和停止设备处理,收集测量数据,选择产品配方以及更改变量。使用SECS / GEM,所有这些都可以以标准方式执行。 SECS / GEM协议已由非营利性协会SEMI(半导体设备和材料国际)标准化。请访问www.SEMI.org,以了解有关SEMI标准和SECS / GEM协议的更多信息。

简而言之,SECS / GEM标准定义了消息,状态机和方案,以使工厂主机应用程序能够控制和监视制造设备。 GEM标准被正式指定为SEMI标准E30,但经常被称为GEM或SECS / GEM标准。 GEM对设备制造商和设备供应商均有利,因为它定义了一组通用的设备行为和通信功能,以提供功能以及支持制造的灵活性。由于GEM标准仅具有一些特定于半导体的功能,因此它已被其他制造行业所采用,例如PV。

SECS / GEM标准提供的功能包括–

  • 让fab主机开始和停止处理
  • 供晶圆代工主机从设备中选择,下载和上传配方
  • 供晶圆代工厂主机查询设备以获取各种工艺参数和设备配置的值
  • 供Fab主机设置设备配置参数值
  • 用于设备向Fab主机发送警报
  • 为晶圆代工主持人定义各种变量的报告,并将其与诸如批量开始或晶圆完成等事件相关联
  • 使设备将各种事件和相关报告发送到Fab主机

由于SECS / GEM是一种通信协议,因此它与平台和技术以及编程语言无关。连接的主机侧在工厂提供的计算机系统上执行,连接的设备侧在设备制造商提供的控制器计算机上运行。这给晶圆厂和设备制造商带来了互操作性,灵活性和平台独立性。只要工厂和OEM都遵守SECS / GEM标准,他们就可以开发其软件应用程序而不必担心通信兼容性。

eInnoSys为设备制造商(OEM)和工厂(FAB或ATM)提供SECS / GEM软件解决方案。通过将eInnoSys的EIGEMEquipment即插即用软件与设备的设备控制器软件相集成,OEM可以显着降低使他们的设备具有SECS/GEM功能的成本和时间。同样,EIGEMHost是用于FAB和ATM(组装和测试制造)的SECS / GEM软件,可与工厂中的各种设备进行通信。 EIGEMSim是用于SECS / GEM测试的模拟器软件。它是一款可以配置为主机或设备,以测试彼此的SECS / GEM通信的软件。

SECS描述了使用单个连接的主机与设备之间的通信。在最初的概念中,甚至在当今最常见的情况下,设备都提供单个SECS接口,供单个主机专用。由SECS定义的消息类型是部分不对称的-一些消息类型仅为主机使用而定义,其他消息类型仅为设备定义,但也有许多消息双方被定义为相同用途。

但是,SECS标准中规定通过在每个消息中指定设备标识值来共享连接。不建议将连接共享的做法用于新部署。通常的做法是保持连接很长一段时间,并且仅在设备或主机重新启动后才中断连接。 SECS连接是轻量级的,不占用太多网络带宽。在典型的台式计算机上可以运行多个SECS连接。

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