周期时间和OEE提升
旧工具自动化
手动湿式工作台
矩阵系统 105 和 106 灰化器
故障检测与分类（FDC）
对蒸发器进行排气时间分析，以检测潜在问题
批量对比图表，用于分析和筛选疑似问题工具。
报警管理系统，用于识别和控制问题，并缩短周期时间
制造与工程效率
应用示例展示了晶圆厂中单点故障工具的情况。
蒸发器实时抽真空图表监控
能力矩阵显示了哪些设备能够完成哪些配方
节省制造成本
每周贵金属消耗量明细
同类工具中贵金属消耗量的比较
贵金属消耗控制图