为霍尼韦尔改造传统晶圆厂设备
霍尼韦尔利用 Einnosys 智能工厂解决方案，在无需昂贵的 OEM 升级或生产停机的情况下，对其传统半导体设备进行了现代化改造。
使用 EIGEMBox，Einnosys 通过现有的显示器、键盘和鼠标端口，为 SPTS 干式蚀刻和 Novellus 系统实现了非侵入式 SECS/GEM 连接，从而避免了侵入式硬件修改。
Einnosys 还实施了：
- EI站控制器 – 用于自动化配方管理和实时FDC数据采集
- 先知之眼 – AI FDC 用于预测分析和智能设备监控
- XPump – 用于预测性真空泵维护的人工智能监控
- EIGaugeMonitor – 用于将模拟仪表读数转换为数字过程数据
关键结果
- 减少废料和人工操作错误
- 实现预测性维护和实时监控
- 实现了零停机实施
- 避免了高昂的OEM升级成本
- 通过统一的SCADA/FDC仪表盘，提高全厂可视性