霍尼韦尔在不进行侵入式升级的情况下,实现了传统晶圆厂设备的现代化改造。通过启用 SECS/GEM 连接、基于人工智能的真空泵健康监测以及模拟仪表的计算机视觉技术,消除了人为错误,减少了废品,并避免了计划外停机——这一切都无需改动原有设备的软件。
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