完全符合SEMI E30、E4、E5和E37标准。

80% 的功能开箱即用,无需集成。

集成时间最多可缩短 20%。

提供基于 REST API 的独立可执行选项。

无需协议专业知识——无需深厚的领域知识即可构建 SECS/GEM 功能。

支持 C#.NET、C++、Java、REST API,可在 Windows、Linux 和 Raspberry Pi 上运行。

简洁、类似英语的 API——易于理解、学习和快速实现。

显著加快SECS/GEM的实施。

加速您的 SECS/GEM 集成

⚠️ 项目挑战

从零开始构建 SECS/GEM 通信系统既复杂又耗时,而且容易出现合规性风险,从而延误工厂的准备工作。

🚀 我们的SDK优势

EIGEMEquipment 提供 80% 的开箱即用功能。您可以专注于机器逻辑,我们将负责 SEMI 标准,从而显著缩短您的产品上市时间。

特性 内部开发 EIGEM设备SDK
开发时间
SEMI合规性 难以维护 保证
支持 有限 全天候专家帮助

SECS/GEM 集成选项

SECSGEM 集成选项

方案一:相同流程/同一台电脑

最简化的集成架构。SECS/GEM SDK 作为单个应用程序运行在同一台 PC 上的设备控制器软件中,从而能够与 MES 直接通信,同时控制 PLC、传感器、电机和其他设备。

适用人群: 为新设备开发或OEM厂商提供完整的控制器源代码访问权限。

方案二:同一台电脑/不同流程

模块化架构,实现更佳的流程隔离。SECS/GEM SDK 作为独立应用程序运行在同一台设备 PC 上,并通过 IPC 与设备控制器软件通信,从而最大限度地减少对现有软件的更改。

适用人群: 现有控制器软件需要具备稳定性和易于维护的特点。

方案三:不同的电脑/相同的设备

专用的SECS/GEM通信系统。设备控制器位于设备PC上,而SECS/GEM SDK则运行在同一设备内的另一台PC上。通信通过局域网(LAN)或IPC建立。

适用人群: 控制器资源有限或软件策略严格的高性能系统。

选项 4:PLC 到主机桥接器 (EIGEMHMI)

无需修改控制器软件即可启用 SECS/GEM。EIGEMHMI 直接从 PLC 读取数据,将其转换为 SECS/GEM 消息,并与 MES 交换数据,同时保持现有 PLC 和 HMI 不变。

适用人群: 需要快速符合 SECS/GEM 标准的传统 PLC/HMI 设备。

选项 5:EIGEMBox 不做任何更改

适用于传统设备的即插即用型 SECS/GEM。 EIGEMBox 无需修改现有软件、硬件或设备控制器,即可添加完整的 SECS/GEM 通信功能。

适用人群: 需要快速、零风险实施 SECS/GEM 的传统设备。

方案 6:PLC + HMI 集成(EIGEMLink)

将PLC和HMI无缝连接到SECS/GEM。 EIGEMLink 从 PLC 和 HMI 收集数据,将其转换为 SECS/GEM 通信,并将您的设备直接连接到 MES。

适用人群: 同时使用 PLC 和 HMI 的设备需要快速可靠的 SECS/GEM 集成。

需要帮助选择合适的集成方案?

从嵌入式 SDK 到即插即用解决方案,如 EIGEMBox、EIGEMHMI 和 EIGEMLink,我们根据您的设备架构提供最合适的 SECS/GEM 实现方案。

SECS/GEM 为晶圆厂和 OSAT 提供的解决方案

EIGEMEquipment 是一款符合 SEMI 标准的 SECS/GEM SDK 和实现方案,旨在简化半导体制造商的设备通信。它为 SECS/GEM 的实现提供了可靠的基础,无需从零开始构建通信逻辑,从而确保稳定无缝的主机连接。

由 eInnoSys 开发的这款功能强大的 SECS/GEM 解决方案适用于晶圆厂和 OSAT 工厂,支持多种编程语言和操作系统。该 SDK 可减少开发工作量、缩短实施周期、降低成本,并确保完全符合 SEMI 标准,包括 GEM300 功能。

EIGEM设备

哪些人应该使用EIGEM设备?

EIGEMEquipment 专为半导体设备制造商、OEM 厂商和系统集成商设计,旨在帮助他们实现可靠的 SECS/GEM 通信,而无需从头开始开发协议栈。它能够加快 SEMI 合规性,实现无缝的工厂集成,并减少工程工作量。

行业/用户
EIGEMEquipment SECS/GEM SDK 如何提供帮助
半导体设备OEM厂商
快速为新设备添加 SECS/GEM 通信功能,加快 SEMI 合规性。
晶圆加工设备
为蚀刻、沉积、CMP、光刻和清洗系统实现可靠的主机通信。
检测计量设备
与MES和工厂自动化系统集成,同时支持实时设备监控。
组装和包装设备
规范后端制造和自动化设备的通信。
测试设备制造商
简化主机连接,提高与半导体晶圆厂的互操作性。
系统集成商
利用生产就绪的 API 和工程支持,缩短集成时间。
设备现代化改造项目
无需重新设计控制器软件,即可将旧设备升级为具备 SECS/GEM 功能。

多平台

准备好加速您的SECS/GEM集成项目了吗?

从架构规划和 SDK 集成到 SEMI 合规性验证和生产部署,eInnoSys 提供全面的工程支持,帮助您更快地交付可靠的半导体设备。

支持的SEMI标准

SEMI E30(GEM)

制造设备通信与控制通用模型(GEM)规范

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SEMI E4(SECS-I)

SEMI 设备通信标准 1 消息传输 (SECS-I) 规范

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SEMI E5(SECS-II)

SEMI设备通信标准2消息内容规范(SECS-II)

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半 E37

高速SECS消息服务(HSMS)通用服务规范

阅读更多。

半 E95

半导体制造设备人机界面规范

阅读更多。

客户案例

安排技术咨询

联系我们的专家,讨论您的 OEM 和 FAB/ATP 需求,并探索适合您运营的解决方案。

    相关产品和服务

    经常问的问题。

    什么是 EIGEMEquipment?

    EIGEMEquipment 是一款软件解决方案,可促进半导体设备的 SECS/GEM 通信,确保高效的数据交换和控制。

    EIGEMEquipment 如何改进制造流程?

    EIGEM设备通过实现实时监控和控制来改进流程,从而提高效率并减少错误。

    EIGEM设备能否与现有工厂系统配合使用?

    是的,EIGEMEquipment 的设计旨在与现有的工厂系统和设备无缝集成。

    EIGEMEquipment的主要特点是什么?

    功能包括强大的 SECS/GEM 通信、易于集成以及全面的数据收集和分析工具。

    如何获得 EIGEMEquipment 的支持?

    我们的客户服务团队可为您提供支持,他们可以协助您进行安装、配置和故障排除。

    SECS/GEM是如何运作的?

    SECS(半导体设备通信标准)和 GEM(通用设备模型)是用于半导体及相关行业自动化系统的通信协议。SECS 是物理层和数据链路层,定义了设备如何与工厂控制系统通信。GEM 是一套标准协议和模型,定义了半导体制造中设备的自动化和控制方式。SECS/GEM 共同实现了设备与主机系统之间的标准化通信,用于过程控制、数据交换和报告。

    SECS/GEM 由谁维护?

    SECS/GEM 由 SEMI(国际半导体设备与材料协会)维护,SEMI 是一个全球性的行业协会,致力于制定半导体行业的标准。SEMI 与业内专业人士合作,确保 SECS/GEM 协议能够随着技术进步和行业需求的更新而保持最新状态。

    SECS/GEM 的应用场景有哪些?

    SECS/GEM主要用于半导体制造,但也适用于其他行业,例如平板显示器(FPD)制造、光伏发电以及相关的自动化生产环境。它用于机器(设备)需要与主机系统通信以进行数据采集、过程控制、状态报告、配方管理等操作的环境中。

    什么是SECS GEM流程计划?

    SECS GEM 工艺程序是指在半导体或其他制造环境中,将设备连接到主机系统的软件层或接口。它包含一套规则和标准(作为 GEM 的一部分),用于定义设备应如何响应来自主机的命令、发送数据、报告状态以及管理警报。该工艺程序确保设备按预期运行,并与生产环境中的其他系统高效通信。

    如何使用SECS/GEM向设备发送命令?

    使用 GEM 接口向设备发送 S2F41(远程命令)消息。该消息包含命令名称以及设备执行所需操作所需的参数。

    SECS/GEM中的HSMS是什么?

    HSMS(高速SECS消息服务)是一种通过TCP/IP网络传输SECS消息的协议。它比依赖RS-232串行通信的SECS-I更快、更高效。

    SECS/GEM中的事件是什么?

    事件是指设备中发生的重大事件,例如工艺步骤完成或故障检测。它在 GEM 接口中配置为触发事件报告,从而通知主机系统。

    SECS/GEM消息类型有哪些?

    常见消息类型包括:

    • S1F1/S1F2:设备状态请求和响应。
    • S2F13/S2F14:数据收集计划定义。
    • S5F1/S5F2:报警报告。
    • S2F41/S2F42:远程命令和响应。

    如何使用SECS/GEM管理多台设备?

    您可以通过以下方式管理多台设备:

    确保每件设备都有唯一的识别码。
    使用能够处理同时进行的 SECS/GEM 连接的集中式主机系统。
    配置通信通道(例如,为 HSMS 设置单独的 TCP/IP 端口)。

    如何确保符合SECS/GEM规定?

    按着这些次序:

    • 实施过程中使用 SECS/GEM 标准(SEMI E30、E37、E4)。
    • 使用 SECS/GEM 合规性工具或模拟器进行测试。
    • 验证与主机系统的兼容性。

    SECS/GEM有哪些应用案例?

    • 数据采集​​:监测生产指标,例如温度或压力。
    • 报警处理:通知操作员错误或警告。
    • 配方管理:上传或下载配方以进行流程控制。
    • 遥控:启动、暂停或停止设备。

    如何排查SECS/GEM连接问题?

    排除故障的步骤:

    检查物理连接(电缆、端口、网络设置)。
    验证协议配置(SECS-I 为 RS-232,HSMS 为 TCP/IP)。
    使用 SECS/GEM 日志工具分析错误。
    确认主机和设备均已正确配置通信。

    SECS/GEM在自动化中是如何应用的?

    SECS/GEM 通过以下方式实现自动化制造:

    • 从主机系统发送命令来启动或停止进程。
    • 自动收集和分析生产数据。
    • 工厂内设备运行的同步。

    SECS/GEM有哪些优势?

    主要优势包括:

    • 不同设备间的标准化通信。
    • 通过自动化提高生产效率。
    • 加强监控和控制,以提高质量保证水平。
    • 实时故障检测减少停机时间。

    SECS-I 和 HSMS 有什么区别?

    SECS-I:使用 RS-232 串行通信,速度较慢,适用于旧系统。
    HSMS:采用以太网上的 TCP/IP 协议,速度更快,适合数据需求更高的现代系统。

    SECS/GEM SDK
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