半导体制造的集中式配方管理
防止配方执行错误——保护产量并避免代价高昂的错误。
集中控制所有工具的配方——确保全厂一致性。
全程可追溯性和审计日志——简化合规性和质量检查。
降低对操作员的依赖性——消除手动选择的风险。
减少废料和返工——提高整体生产效率。
规范流程——保持各班次和各地点执行的一致性。
半导体晶圆厂及ATM/OSAT工艺配方管理系统
EIRMS 是一款综合性的制造配方管理软件，可帮助晶圆厂和 ATM 工厂提高良率、工程效率、OEE 和周期时间。
它能够对设备配方进行全面控制，包括版本管理。 黄金配方支持并可追溯每一次变更。EIRMS 可与支持 SECS/GEM 的设备无缝集成，并可针对非 SECS/GEM 设备进行定制，从而确保所有生产线上配方执行的一致性和合规性。
食谱管理系统（EIRMS）工作流程
系统集成
EIRMS 可与以下系统无缝集成：
- 具备SECS/GEM功能的设备
- 工厂主机系统
- MES环境
- 集中式生产控制平台
针对非SECS/GEM工具，我们提供定制解决方案，以确保充分的灵活性。
支持的工具集
EIRMS 支持多种半导体工具集，包括：
- 佳能 i5+、i5 和 i4 步进电机
- Matrix System One 干法刻蚀
- SPEC湿式工作台
- IVS叠加计量
- Ultratech晶圆测量
部署
EIRMS支持：
- SECS/GEM 通信
- 集中式食谱服务器
- 版本控制管理
- 企业级运营
可扩展，适用于小型和大型设施。
| 特性 | 用户手册 | EIRM |
|---|---|---|
| 版本控制 | ❌ | ✅ |
| 审批工作流程 | ❌ | ✅ |
| 审计追踪 | ❌ | ✅ |
| SECS/GEM 集成 | ❌ | ✅ |
| 中央储存库 | ❌ | ✅ |
| 多工具支持 | ❌ | ✅ |
为什么选择 Einnosys？
EIRMS由半导体自动化和软件专家Einnosys开发，该公司在以下领域拥有专业知识：
- SECS/GEM 集成
- 工厂自动化
- 智能制造解决方案
- 先进制造系统
Einnosys 提供可靠且可扩展的半导体配方管理软件解决方案，专为晶圆厂和 ATM 环境量身定制。
用例和应用
半导体制造
将制造设备连接到 MES 系统，实现 200mm/300mm 合规性，并支持先进的工艺控制方案。
智能工厂集成
将传统设备与现代工业 4.0 平台、物联网系统和基于云的分析技术连接起来。
制造执行系统 (MES)
实现车间设备与企业MES平台之间的无缝数据流。
工业自动化
将PLC、SCADA系统和工业控制器与SECS/GEM主机系统集成。
多厂商环境
实现不同制造商使用不同协议的设备之间的统一通信。
云与边缘计算
将工业设备连接到云平台和边缘计算基础设施，以实现高级分析。
客户案例
准备好提高产量、工程效率和设备综合效率 (OEE) 了吗？
实施 EIRMS——适用于半导体制造厂和 ATM 的集中式合规配方管理系统。
白皮书
相关产品和服务
经常问的问题。
什么是食谱管理系统？
配方管理系统是一种旨在管理、监控和确保半导体制造过程中所用配方准确性的工具。它可以帮助晶圆厂和ATM（组装、测试和封装）设施提高良率、OEE（整体设备效率）和工程效率。
配方管理系统如何提高产量和效率？
通过确保生产批次始终使用正确的配方版本，该系统可以减少错误、优化机器性能并最大限度地减少停机时间。
该配方管理系统是否与所有设备兼容？
是的，它适用于任何具备SECS/GEM功能的设备。我们也可以为不具备SECS/GEM功能的设备开发定制解决方案。
什么是 SECS/GEM？它对配方管理系统为何如此重要？
SECS（SEMI设备通信标准）和GEM（通用设备模型）是实现制造设备与主机系统之间无缝通信的协议。这些协议对于自动化和高效的配方管理至关重要。
食谱管理系统如何确保食谱的准确性？
它会根据生产批次要求验证配方版本，确保始终使用正确的配方，从而降低人为错误的风险。
该系统能否处理晶圆厂中的多种设备类型？
是的，该系统旨在支持所有设备类型，确保集中化和简化的配方管理流程。
该系统如何节省工程时间？
通过自动更新配方、验证和版本控制，该系统每年可节省数周的工程时间，否则这些时间将用于手动调整和监控。
食谱管理系统收集哪些数据？
RMS 收集数据，例如所有特定版本和修改日期的食谱，以及上传或下载该版本的用户。
该系统能否与现有的MES、FactoryHost或StationController集成？
是的，配方管理系统可以与 MES、factoryHost 或 StationController 集成，以确保整个制造过程中的无缝操作和数据流。
该系统是否可扩展以适应大型晶圆厂或多站点运营？
当然。该系统旨在处理大规模、多地点的运营，确保所有地点配方管理的一致性。
实施食谱管理系统有哪些好处？
主要优势包括提高产量、缩短周期时间、提高设备综合效率、实现配方执行的一致性、减少人为错误，以及为工程团队节省大量时间。
系统如何处理配方版本控制？
该系统维护所有配方的版本历史记录，并确保在生产过程中只部署已批准的版本，并跟踪和记录更新。
菜谱管理系统是如何部署的？
部署包括将系统与晶圆厂的设备和主机系统集成，配置配方，以及培训操作员和工程师如何使用该系统。
该系统能否提供实时监控？
是的，它提供对配方执行情况和设备状态的实时监控，以确保操作顺利进行。
哪些行业可以从食谱管理系统中受益？
它主要用于半导体制造，但也能使其他需要精确配方或工艺控制的行业受益，例如制药和电子组装。