我们如何帮助一家全球制造商将配方选择错误率降低了 99.9%
配方选择不当导致的制造误差会造成大量晶圆报废、生产延误和运营成本增加。一家全球领先的半导体制造商就曾面临过这些挑战,当时他们仍然依赖人工批次映射和操作员主导的配方选择方式来处理传统生产设备。
为了解决这个问题,Einnosys Technologies 实施了 EIStation 控制器,这是一款先进的 SECS/GEM 自动化解决方案,可与客户现有的工厂系统无缝集成。该解决方案通过自动化手动批次映射、实时验证配方选择以及实现智能设备通信,消除了对操作员的依赖,并规范了生产工作流程。
结果是革命性的:
- 食谱选择错误减少99.9%
- 工具设置和批次切换速度提高 75%
- 因工艺配方错误导致的晶圆报废率几乎为零
- 提高设备利用率和操作员生产力
- 增强可追溯性、流程一致性和MES集成
- 无需更换现有设备即可更快地获得投资回报
本案例研究表明,现代 SECS/GEM 自动化如何为传统半导体设备释放工业 4.0 的能力,帮助制造商提高质量、提高产量、降低制造成本,同时最大限度地发挥现有生产资产的价值。