将您的手动湿式工作台改造成智能型 产量保护系统

如果您的 FAB 仍然采用手动(手工浸渍)湿法工作台,您已经知道其中的风险——由于将晶圆浸入错误的化学浴或蚀刻时间不正确而导致的晶圆良率损失。

EIMWA – einnosys 的手动湿式工作台自动化是一款功能强大的非侵入式解决方案,旨在消除人为错误,而无需更换或升级您当前的湿式工作台,从而为您节省数十万美元的升级和更换成本。

通过我们的条形码扫描器、移动设备和所需软件系统,您可以确保晶圆始终在正确的蚀刻槽中处理,并达到所需的蚀刻时间。

  • 无需更换设备
  • MES集成
  • 投资回报很快

为什么选择EIMWA?

手动湿式工作台自动化

无需更换湿式工作台即可提高产量

与完全手动升级为全自动湿式工作台不同,EIMWA 可与您现有的设备兼容。无需昂贵的硬件更换或漫长的重新认证周期。 我们的半导体湿法工艺台自动化方法侧重于工艺控制、晶圆跟踪和 MES 集成,而不是机械改造。

EIMWA 的特点——手动湿式工作台自动化

提高产量

防止晶圆浸入错误的溶液中,消除工艺混淆和废料损失。

提高产量

节省巨额升级成本

无需更换或升级您现有的湿式工作台。

节省巨额升级成本

节省工程重新认证时间

避免数月的停机时间和验证工作。

节省工程重新认证时间

与您现有的MES系统集成

与您的半导体湿法加工系统环境无缝连接。

与您现有的MES系统集成

提供地块谱系信息

将晶圆加工数据与化学浴更换或化学补充信息关联起来,实现完全可追溯性。

提供地块谱系信息

面向现代工厂的智能湿式工作台自动化

工作台改造自动化解决方案

  • 晶圆厂手动湿法工作台自动化解决方案
  • 传统设备的湿式工作台自动化
  • 工业4.0湿式工作台自动化解决方案
  • 利用湿法工作台自动化提高产量
  • 半导体制造湿法工艺自动化

如果你想知道如何在半导体制造厂实现手动湿法工作台的自动化,这是目前最具成本效益和风险最低的方法。

应用行业

  • 半导体制造厂
  • 外部卫星测试设施
  • 研发实验室
  • 传统设备生产线

我们的工业湿式工作台自动化解决方案专为高混合、高价值的半导体环境而设计。

技术与专业知识

EIMWA 包括:

  • 基于条形码的晶圆追踪
  • 移动设备流程验证
  • 智能工作流程控制软件
  • 制造执行系统集成
  • 可选的SECS/GEM湿式工作台自动化功能

我们确保与您的湿法工作台控制系统、工厂自动化和晶圆厂级可追溯性兼容。

主要优点

消除人为错误

通过在加工前验证批次、配方和化学浴,防止晶圆浸入错误的化学浴中。减少手动(手工浸涂)湿法工作台的操作失误。

消除人为错误

保护产量

确保晶圆在正确的蚀刻槽中进行精确蚀刻,从而减少半导体制造中的废料、返工和良率损失。

保护产量

实现可追溯性

通过将晶圆加工数据与化学浴变化和化学补充记录关联起来,提供完整的批次谱系,以便更好地进行根本原因分析。

实现可追溯性

避免资本支出

无需更换或升级现有湿式工作台。可与现有设备兼容,避免大笔投资和漫长的重新认证周期。

避免资本支出

更快的投资回报率

它以远低于全自动湿式工作台系统的成本,实现了自动化优势,从而能够更快地收回投资。

更快的投资回报率

湿法工艺自动化的无缝集成和快速部署

集成部署

我们的湿法工艺设备自动化解决方案可与以下系统无缝集成:

  • 现有MES系统
  • 批次跟踪系统
  • 化学品管理工作流程
  • 晶圆厂级报告系统

实施过程

我们确保最短的停机时间和最大的产量保障。

  • 现场评估
  • 工作流程映射
  • 条形码和设备集成
  • 软件部署
  • MES集成
  • 验证与上线

使用案例

01

案例 1:传统手动湿式工作台

一家晶圆厂使用 10 多年历史的手动湿法工作台,通过防止错误的化学浸泡,在不投资更换全部设备的情况下,减少了良率损失。

02

案例二:高混合生产

改进了工艺控制和批次溯源,以应对频繁的配方变更。

实现了对同一条生产线上多种产品变体的高效管理。

确保原材料和批次的全程可追溯性,以维持质量的一致性和合规性。

为什么选择我们?

SEMI 设备通信标准 II (1)

凭借在半导体行业的深厚专业知识,我们深谙湿法工艺环境的复杂性,以及精度、可靠性和良率优化至关重要。我们的团队在制造执行系统 ​​(MES) 和自动化集成方面拥有丰富的经验,可确保您现有系统、设备和工作流程之间的无缝连接,而不会中断您的运营。

我们专注于提供经济高效的现代化解决方案,旨在增强您现有的基础设施,而非彻底替换它——帮助您在控制资本支出的同时,实现更佳的性能。我们快速部署的模式旨在最大限度地减少停机时间,加快实施速度,并迅速交付可衡量的成果。从规划到上线,我们确保平稳过渡,支持持续生产并最大限度地提高运营效率。

客户案例

准备好将您的手动湿法工作台自动化了吗?

别再因人为失误而损失产量。升级您的工艺流程,而非设备。立即申请咨询。

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经常问的问题。

什么是EI手动湿式工作台自动化(EIMWA)?

EIMWA 是一种非侵入式自动化解决方案,旨在通过防止人为错误和改进工艺控制,在不更换现有设备的情况下,升级半导体制造厂的手动(手工浸涂)湿法工作台。

EIMWA 如何防止错误的化学浸泡?

EIMWA 使用条形码扫描、移动设备和工作流程验证软件,以确保晶圆浸入正确的化学浴中,并按照精确的蚀刻时间进行处理。

为什么湿法工作台自动化在半导体制造中如此重要?

手动湿法工艺台容易出现诸如化学浸泡和时间控制不当等错误,这些错误会导致晶圆损坏和良率下降。EIMWA 通过强制执行工艺验证和自动化来消除这些风险。

EIMWA是否要求更换现有的湿式实验台设备?

不。EIMWA 是一种改造自动化解决方案,可与现有的湿式工作台配合使用,无需昂贵的设备更换或漫长的重新认证周期。

EIMWA如何提高产量并减少废料?

通过确保正确的化学品使用和精确的蚀刻时间,EIMWA 可防止工艺错误,从而减少半导体制造中的晶圆废料、返工和整体良率损失。

EIMWA能否与MES和工厂系统集成?

是的。EIMWA 可与 MES、批次跟踪系统和晶圆厂自动化平台无缝集成,提供实时工艺验证和可追溯性。

EIMWA 使用了哪些技术?

EIMWA 包括:

  • 基于条形码的晶圆追踪
  • 移动设备验证
  • 智能工作流程控制软件
  • 制造执行系统集成
  • 可选的SECS/GEM连接

EIMWA如何支持半导体晶圆厂的可追溯性?

EIMWA 通过将晶圆加工数据与化学浴的使用和变化联系起来,提供完整的批次谱系,从而实现更好的可追溯性和根本原因分析。

EIMWA的主要优势是什么?

  • 消除人工操作过程中的人为错误
  • 提高晶圆良率和质量
  • 避免昂贵的设备升级
  • 实现全过程可追溯性
  • 提供更快的投资回报(ROI)

EIMWA 是否适用于传统的湿式工作台系统?

是的。EIMWA 专为传统手动湿式工作台系统而设计,因此非常适合希望在无需大量资本投资的情况下实现现代化改造的晶圆厂。