适用于 300 毫米晶圆厂的 GEM300 主机集成解决方案
Einnosys的 EIGEM300Host是一款完整的 GEM300 主机集成解决方案,专为 300 毫米半导体晶圆厂和先进制造工厂而设计。这款高性能半导体GEM300主机平台支持使用 SECS/GEM 和 GEM300 标准实现无缝自动化和通信。
它帮助现代晶圆厂提高运营效率,简化设备集成,并支持可扩展的、面向未来的工厂自动化。
- 主机与设备之间的通信
- 工厂自动化功能
- 实时设备数据采集
- 完全符合 SECS/GEM 和 GEM300 标准