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半导体设备OEM厂商
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晶圆制造设备制造商
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AMHS集成商
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传统设备升级项目
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新工具开发团队
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半导体晶圆厂
半导体晶圆厂
SEMI E84 软件和 SDK，适用于 AMHS、OHT、AGV 和 RGV 集成
完全符合 SEMI E84 标准
即插即用的 E84 软件和 SDK
加速AMHS整合
可靠的高空作业车、自动导引车和遥控导引车通信
对新旧设备的支持
缩短开发时间和降低成本
更快的设备到工厂连接
深受半导体OEM厂商和晶圆厂信赖
为什么选择 EIGEMEquipment-E84 进行 SEMI E84 集成？
EIGEMEquipment-E84 是一款符合 SEMI E84 标准的软件和 SDK 解决方案，旨在简化半导体设备制造商和晶圆厂的 AMHS 集成。它能够实现设备负载端口与 OHT、AGV 和 RGV 系统之间的可靠通信，从而确保载流子传输的安全高效。
无论您是开发新设备还是升级传统工具，EIGEMEquipment-E84 都能加速 E84 的实施，减少开发工作量，并帮助更快地实现 SEMI E84 合规性。
该解决方案已在半导体制造环境中得到验证，支持无缝的装载端口通信、AMHS 连接和符合标准的物料搬运自动化。
我们的 SEMI E84 软件和 SDK 的主要功能
完全符合 SEMI E84 标准
实现了完整的 SEMI E84 载波切换通信，包括信号定义、时序和加载端口通信要求。
01
快速集成 E84
利用成熟的 SDK 和集成框架，加速 E84 在新型和现有半导体设备上的实施。
02
老旧设备改造
使旧设备能够与现代的 AMHS、OHT、AGV 和 RGV 系统进行通信，而无需进行重大的软件重新设计。
03
多平台 SDK 支持
支持 Windows、Linux 和 Android 环境，并提供 C#.NET、C++ 和 Java 的 API。
04
高级错误管理
内置的监控和恢复机制有助于减少载波传输故障，提高运行可靠性。
05
AMHS、OHT、AGV 和 RGV 连接
可与半导体制造厂中使用的自动化物料搬运系统实现无缝通信。
06
多负载端口支持
支持多个装载端口和载具传输工作流程，适用于高通量制造环境。
07
半导体制造成熟解决方案
已成功部署于全球半导体制造工厂和OEM设备中。
08
哪些用户应该使用 EIGEMEquipment-E84？
为什么半导体OEM厂商选择EIGEMEquipment-E84
加快E84实施
利用经过验证的 SEMI E84 软件和 SDK 框架，减少开发工作量，该框架专为快速部署和验证而设计。
可靠的AMHS集成
实现设备负载端口与 AMHS 系统（包括 OHT、AGV 和 RGV）之间的无缝通信。
传统设备与新设备支持
在新设备平台和需要现代化改造的现有工具上部署 E84 通信。
完整的晶圆厂自动化生态系统
可与 SECS/GEM、GEM300、主机和 MES 环境无缝集成，实现端到端半导体自动化。
技术规格
标准版
SEMI E84-0823（最新技术修订版）
连接方式
高速并行 I/O；用于主机端监控的 TCP/IP
硬件相容性
支持行业标准传感器（例如 Hokuyo）和 DB25 连接器接口
监控工具
用于晶圆厂现场快速调试的实时信号转换记录器和状态机可视化工具
支持的语言
C#.NET、C++、Java
操作系统
视窗、Linux、安卓
客户案例
适用于计量OEM的快速、灵活且可靠的SECS/GEM、GEM300和E84集成
通过快速、灵活、可靠的 SECS/GEM、GEM300 和 E84 集成，数据传输速度提升了 300%，从而提高了性能……
简化 E84 与 EIGEM 设备的集成
我们的解决方案符合 E84 标准，专为高性能半导体自动化而设计，可确保设备间无缝通信和可靠的载流子处理。
白皮书
安排技术咨询
联系我们的专家，讨论您的 OEM 和 FAB/ATP 需求，并探索适合您运营的解决方案。
相关产品和服务
经常问的问题。
什么是 EIGEMEquipment-E84？哪些人需要它？
EIGEMEquipment-E84 是一个完整的 E84 SDK 和集成服务平台，实现了 SEMI E84 标准，用于自动化物料搬运。对于制造新型半导体设备的 OEM 厂商和改造现有工具以支持 AMHS/OHT 的晶圆厂经理而言，该平台可节省数月的定制协议开发工作，并确保符合 SEMI 标准，以及在 300mm 和 200mm 晶圆厂中实现可靠的物料转移。
EIGEMEquipment-E84 是否支持旧设备改造？
是的。这项专利技术使旧式设备能够通过灵活的 E84 SDK 和集成服务与现代 AMHS/OHT 系统进行通信。集成方案包括纯软件集成或完整的软硬件一体化方案（PIO 接口、传感器、I/O 盒），无需更换设备即可延长设备投资回报期。
这款 E84 SDK 与纯软件解决方案有何不同？
与仅提供软件的供应商不同，EIGEMEquipment-E84 提供软硬件协同解决方案：包括 PIO 硬件接口、传感器、I/O 盒和用于实时监控的诊断软件。这款超轻量级的晶圆厂自动化软件针对 CPU 和内存占用进行了优化，并可与 EIGEM300 和 EIGEMBox 集成，从而实现统一的 GEM300 和 SECS/GEM 合规性。
E84 SDK 能在开发过程中节省多少时间？
与内部开发相比，E84 SDK 和集成服务可将集成时间缩短高达 70%，通过提供即插即用的集成，加快工厂验收测试和生产准备，从而节省数月时间。
E84 SDK 支持哪些编程语言和平台？
EIGEMEquipment-E84 支持 Windows、Linux 和 Android，并为 C#.NET、C++ 和 Java 提供原生 API，从而实现跨不同设备架构的一致、多平台/多语言集成。
E84 SDK 包含哪些硬件组件？
该软件包包括带 DB25 连接器接口的 PIO（并行 I/O）硬件、用于载波检测的行业标准传感器（Hokuyo 等）、用于信号管理的 I/O 盒以及用于实时监控的诊断软件。
包含哪些支持和监控工具？
EIGEMEquipment-E84 提供全面的集成和生产支持：实时信号转换记录器、用于快速工厂车间调试的状态机可视化工具、专用集成支持以及持续的专家指导，以实现稳定、可投入生产的运行和长期性能。