将传统设备数字化以实现MES、可追溯性和工业4.0的最快方法
完全符合 E30、E37、E5、E4、E23、E39、E40、E84、E87、E90、E94 和 E116 标准。
节省数百万美元的设备升级成本。
停机时间短——几周内仅需几个小时的设备停机时间。
大大节省工程时间——无需重新验证配方，因为设备没有变化。
可实现远程诊断，每年节省数百小时的工程时间。
节省数千美元的额外软件许可费用——自动从设备屏幕保存晶圆图或其他图表。
现在增强了 OEE – 基于 E10 的实时设备性能可视化功能
现在已增强 AMS – 基于 SECS/GEM 的智能报警管理和自动化
已成功应用于 80 多个晶圆厂和 OSAT 设备
部分设备清单 - FAB
- KLA Surfscan
- 瓦里安 3290
- 高取
- 荏原
- 等离子热
- MRC Eclipse
- KLA 热波
- Sidea PT-903
- CDE Resmap
- Accretech PG300RM
- TEL Alpha 8 SE
- ASM E2000
- SPTS
- 日立 M-511AE
部分设备清单 - 组装与包装
- 迪斯科舞厅 651/641
- 蓝色M烤箱
- Towa Y1
- 星点
- 布达泰克
- 奥索达因
- Essentec Fox & Paraguda
- 高取ATM 8200A
- ASM AD898
- Ismeca SL
- Hexa Max
- Centrotherm CP6202
无需设备改造即可实现 SECS/GEM、Modbus 和 OPC 集成
EIGEMBox 是一款即插即用解决方案，无需在设备本身安装任何软件或硬件，即可为传统半导体设备添加 SECS/GEM、Modbus 或 OPC 功能。只需连接设备的显示线缆（VGA、DVI 或 HDMI）以及可选的键盘/鼠标端口（USB 或 PS/2），EIGEMBox 即可实现完整的主机通信和远程控制。它已成功应用于各种场景，包括增强 SECS/GEM 通信，实现完整的参数交换并降低延迟，以及支持 AMHS（E84/E87在 200 亿晶圆厂中进行集成，并提取传统方法之外的非标准数据 SECS/GEM 的局限性 支持高级监控和自动化。
现在已增强 OEE（整体设备效率） & AMS（报警管理系统）
实时OEE洞察和智能报警控制，实现设备性能最大化。
2026 年自动化合规性说明： EIGEMBox 经过全面优化，可支持现代高通量制造，为需要立即符合 SEMI E84、E87 标准而无需内部软件修改的传统工具提供零停机时间集成。
升级旧版工具，使其完全符合 SECS/GEM 和 GEM300 标准
通过 SECS/GEM 和 GEM300 合规性升级传统设备，实现半导体工具现代化，并实现无缝的工厂自动化和设备连接。
了解 EIGEMBox 如何简化 SECS/GEM 集成并加速智能工厂的普及。
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相关产品和服务
经常问的问题。
EIGEMBox是什么？
EIGEMBox 是一款即插即用的 SECS/GEM 通信硬件和软件解决方案，可使半导体或 FPD 设备与工厂主机系统无缝连接。
EIGEMBox 支持哪些 SEMI 标准？
EIGEMBox 完全支持 SEMI E30、E37、E5 和 E4 标准，确保完全符合 GEM 和 SECS-II 标准，从而实现可靠的设备到主机通信。
EIGEMBox 能否与老旧设备集成？
是的。EIGEMBox 的设计目的是改造那些没有内置 SECS/GEM 通信功能的旧式工具，使它们能够满足现代工厂自动化的要求。
EIGEMBox 是否兼容 GEM300 或 300mm 设备？
是的。EIGEMBox 可以配置为支持 GEM300 通信标准，包括 SEMI E87、E90、E94 和 E116，适用于 300mm 晶圆处理系统。
使用 EIGEMBox 进行 SECS/GEM 通信有哪些好处？
EIGEMBox 简化了集成，加快了 SECS/GEM 合规性，缩短了开发时间，并确保与全球一级半导体工厂进行稳定可靠的主机通信。
eInnoSys 是否提供 EIGEMBox 的支持和安装服务？
是的。eInnoSys 提供全面的实施、测试和认证支持，以确保您的设备符合 SECS/GEM 合规性要求。
EIGEMBox 能否与 OHT、AGV 或 RGV 系统连接？
是的。当与 E84 I/O 模块结合使用时，EIGEMBox 可以与 OHT、AGV 和 RGV 等物料搬运系统进行通信，实现自动化批量交付。
EIGEMBox 是否需要在我的设备上安装任何软件？
不，EIGEMBox 完全即插即用，无需在设备本身安装任何软件或硬件。它仅连接到显示输出端口（VGA/DVI/HDMI），并可选择性地连接到键盘和鼠标端口。设备控制器无需任何修改，即可继续按设计正常运行，无需固件更新、驱动程序或任何软件代理。
EIGEMBox 会不会对我的设备造成任何副作用，例如运行速度变慢或设备崩溃？
不。EIGEMBox 从不直接接触设备控制器，仅通过外部显示器和输入端口连接。因此，不会产生任何副作用、崩溃、性能影响、时序问题或干扰设备的正常运行。该工具的运行方式与以往完全相同。
EIGEMBox 可以与哪些类型的设备配合使用？
EIGEMBox几乎可以与任何具有显示输出的半导体设备配合使用，不受制造商、使用年限或操作系统的限制。它已在全球80多种设备上部署，包括计量设备（KLA、Therma-wave）、沉积设备（ASM、MRC）、刻蚀设备（Plasma-Therm、SPTS）、离子注入设备（Varian）和物料处理系统（Takatori）。它完全支持运行DOS、Windows 3.1、Linux、Solaris或专有系统的设备。
我是否需要获得原始设备制造商（OEM）的许可或支持？
不。EIGEMBox 不需要 OEM 许可证、升级套件、支持合同或任何权限。这对于那些制造商已经合并、被收购或已不复存在的工具来说尤其有价值。您可以完全掌控集成和部署，而无需依赖 OEM。
安装和设置需要多长时间？
根据设备复杂程度的不同，物理安装大约需要几个小时，涉及简单的视频连接以及可选的键盘/鼠标连接。通过 EIGEMBox Web 界面进行初始配置通常需要几个小时到 1-2 天，具体取决于设备的复杂程度和数据需求。大多数客户在几天内（而不是几个月）即可开始收集实时数据并与他们的 MES 系统通信。