面向半导体和制造行业的先进故障检测和分类解决方案

故障检测与分类

eInnoSys故障检测与分类(FDC)系统持续监控设备传感器数据,分析工艺行为,并实时检测异常情况。我们的故障检测与分类软件能够帮助制造商防止产量损失、缩短生产周期并提高设备整体效率。

  •  实时故障检测与分类
  • 半导体FDC系统
  • 高级FDC工艺监控
  • 制造设备故障检测

解决方案概述

故障检测与分类 (FDC) 系统持续监控来自设备的各种传感器数据,对其进行分析,并应用用户定义的限值来检测过程异常。该系统允许工程师配置当特定参数失控 (OOC) 时必须采取的措施。系统会自动执行用户定义的措施,以防止生产损失。

工艺偏差可能由设备部件老化、工艺问题或先前生产步骤遗留的晶圆/芯片问题引起。及早发现这些故障有助于晶圆厂和组装/测试工厂提高良率、缩短周期时间、提升设备综合效率 (OEE) 和设备正常运行时间。

eInnoSys 已成功在多个晶圆厂和制造环境中实施了多项故障检测和分类解决方案。

我们的软件解决方案故障检测与分类 (FDC)

智能制造的故障检测与分类软件

我们的先进故障检测和分类软件专为需要实时过程监控的半导体制造厂、组装/测试设施和制造工厂而设计。

我们可以提供:

智能制造的故障检测与分类软件

行业挑战

我们解决的行业挑战

制造商面临诸多运营挑战,例如:

  •  半导体工艺监控的复杂性
  •  意外设备故障
  • 工艺偏差导致的产量损失
  • 难以确定故障的根本原因
  • 实时监控可见性有限
  • 停机时间和维护成本增加

我们的半导体FDC系统通过提供智能和自动化监控来解决这些挑战。

解决方案类别/基于用例的解决方案

半导体制造: 

  • 晶圆厂工艺故障检测
  • 晶圆制造中的故障检测
  • 半导体设备监控

组装和测试设施: 

  • 实时过程监控
  • 设备性能监控
  • 自动故障报警分类

工业制造:

  • 制造设备故障检测
  • 预测性故障检测制造
  • 智能制造故障监测

我们软件解决方案的关键特性

实时故障检测与分类

01

用户自定义的 OOC 规则和警报

02

自动纠正措施触发器

03

多传感器数据监测

04

高级故障分析

05

设备性能跟踪

06

历史数据分析

07

历史数据分析

08

主要优点

提高半导体良率

减少设备停机时间

提高设备综合效率 (OEE)

更快的根本原因分析

降低维护成本

改进的生产周期时间

增强设备可靠性

应用行业

在1

半导体制造

在2

电子制造业

在3

组装和包装设施

在4

工业制造

在4

OEM设备制造商

安全与合规

  • 安全数据通信
  • 访问控制管理
  • 数据完整性监控
  • 行业标准合规

整合能力

  • MES系统
  • SCADA平台
  • 设备接口
  • SECS/GEM 通信
  • 数据分析平台
  • ERP系统

实施与部署流程

01
需求分析

需求分析

02
系统设计与配置

系统设计与配置

03
集成部署

集成部署

04
测试与优化

测试与优化

05
培训和上线支持

培训和上线支持

技术 & 专业领域

eInnoSys 利用深厚的半导体领域知识和现代软件工程技术,提供先进的故障检测和分类。

我们的团队专注于

  • 查 半导体工艺监控
  • 查 人工智能与数据驱动的故障检测
  • 查 Manufacturing Analytics
  • 查 设备性能监控
  • 查 预测性维护技术

系统架构技术方法

我们的故障检测和分类系统架构包括

  • 查 实时传感器数据采集
  • 查 数据分析引擎
  • 查 基于规则和人工智能驱动的故障检测
  • 查 报警和通知管理
  • 查 报告与可视化仪表板
  • 查 用户自定义自动操作执行

提高产量、减少停机时间并优化设备性能

与 eInnoSys 合作,实施专为您的制造环境量身定制的先进故障检测和分类解决方案。

为什么选择eInnoSys?

成熟的半导体FDC技术

多晶圆厂实施的成功案例

定制故障检测和分类解决方案

强大的集成能力

可扩展且灵活的架构

专门的支持和维护

客户案例

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联系我们的专家,讨论您的 OEM 和 FAB/ATP 需求,并探索适合您运营的解决方案。

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    常见问题

    什么是故障检测与分类?

    故障检测与分类功能监控设备传感器数据,检测异常情况,并自动触发纠正措施。

    FDC如何提高半导体良率?

    通过及早发现工艺偏差,FDC 可以防止晶圆生产缺陷,并减少良率损失。

    FDC能否与现有工厂系统集成?

    是的,eInnoSys FDC 可与 MES、SCADA 和 SECS/GEM 设备接口集成。

    FDC 是否适用于实时监控?

    是的,我们的系统支持实时故障检测和分类。