SECS/GEM & GEM300: 현대 팹 자동화를 위한 통합 实例

概括

• 글로벌 영향: 重要信息请注意。
• 中文: SECS/GEM은 단일 프로토콜oodle 아니라 E4, E5, E37, E30 등으로 구성된 계층형 표준 모음으로, 장비实例공장 호스트와“대화”할 수 있게 합니다。
• GEM300 的影响： 300mm 팹에서는 기본 GEM만으로는 부족했습니다。 GEM300 스위트(E39, E40, E87, E94, E90)는 캐리어 관리 및 작업 처리 같은 복잡한 물류를 표준화합니다。
• 구현: 레거시 직렬 연결(SECS-I)에서 고속 더넷(HSMS)으로의 전환은 현대적 데리량을 위해 필수적입니다。
• 中文: 적절한 구현은 통합 시간을 줄간을 줄드 수율을 높 Been 맞춤형 드라 Been 의 “스파게티 코드”를 제거합니다。

소개

집에서 쓰는 와비들 밀리초 단위로 복잡한 레시피를 서로 속삭여야 하는 반도체 팹을 조정해 보세요。 그 중요성은 엄청납니다。 SEMI의世界晶圆厂预测(2024年)에 따르면 올해 전 세계 반도체 생산 능력은 월 3,000만 웨 Beenl퍼라는 사상 최고치에 를 것으로 전망됩니다。 실리콘을 의미하며, 모든 과정은 강력한请注意。

与 SECS/GEM 类似。 SECS/GEM은 팹의 숨은 영웅으로, 캘리포니아의 증착 장비操作系统 독일에서 개발된 호스트 시스템과 원활하게 대화할 수 있게 해주는 보편적 언어입니다。 SECS/GEM 中间件트랜지스터를 제조하는 데 필요한 정밀한 협업을 할 수 없었을 것입니다。

200 毫米 레거시 라인을 개조하든、최첨단 300 毫米필수입니다。 SEMI 的主要产品是 SEMI 和 SEMI。 우리는 것을 강력한 GEM300 표준들의 알파벳 강리고 강력한 GEM300 수프를 안내하려 합니다。

答案：SECS/GEM?

초심자에게 “SECS/GEM”은 단일 프로토콜처럼 들리지만, 실제로는 함께 작동하는 여러 표준의 스택입니다。数据保护: 数据保护, IP 保护, HTML 保护, SECS/GEM도 保护집니다。

型号: E4 和 E37

请注意，请确保您的产品符合您的要求。

• E4 – SECS-I（직렬）： “구세대”입니다。 RS-232 与 RS-232 兼容。 느리고 취약하며 현대의 300mm 팹에서는 거의 구식입니다。 하지만 200mm 레거시 팹에 들어іл면 20년 된 에처(蚀刻机) 뒤에서 Been 케ָ블 Been 아직도 뽑혀 나오는 것을 볼 수 있습니다。
• E37 – HSMS： “高速SECS消息服务”입니다。该协议是基于 TCP/IP 协议的。 웨기퍼 맵 데송터와 같ָ 단위의 데기터를 전송할 때 빠른 전송 Been 필수적입니다。

名称: E5 – SECS-II

연결і 설정되면 문법 구조і 필요합니다。E5 – SECS-II或“메시지”를 정의합니다。 통신을 Streams(카테고리)와 Functions(특정 동작)로 나눕니다。

예: S1,F1은“거기 있나요?”（你在吗请求）。 S1,F2는“네,있습니다”（在线数据）。

E5는 사전을 제공하지만, 대화를 어떻게 ה어갈지는 알려주지 않습니다. Р능한 단어들을 나열해 줄 뿐입니다。

类别: E30 – GEM

SECS/GEM 是非常重要的。E30 – GEM（通用设备模型） 표준은 작동 규칙을 정의합니다。 예를 들어 장비에 “Remote 모드에 놓 Been 면 ֊정 명령들을 수락해야 한다”고 지시합니다。

E30 없으면 한 벤더는 S2,F41를 공정 시작으로 사용하고, 다른 벤더는 같은 코드를 레시피请注意，请注意以下事项： E30은 모든 GEM 준수 도구і 따라야 할 표준 상태 머신（离线、在线本地、在线远程）을 강제합니다。

왜 자동화에 공통 언어实例 필요한实例

왜 모든 과정을 거쳐야 할까요？ OEM 的 API 是什么？

핵심은 확장성 입니다。 현대 팹에는 Applied Materials、Lam Research、Tokyo Electron 등과 같은 30개 イ상의 다른 공급업체의 500개 Been Research 도구і 있을 수 있습니다。生产执行系统（MES） 없을 것입니다。

SECS/GEM是安全的。

• 상호운용성: 호스트 시스템은 장비 제조사і 누구인지와 상관없 Been 상태 변수(VID)나 수집 Been(CEID)를 요청하는 방법을 정확히 알고 있습니다。
• 수율 향상: 자동화된 데능하게 합니다.延迟时间 50ms 延迟 SECS/GEM 延迟时间라인을 멈출 수 있습니다。
• 成本节省： 표준 인터페스는 신규 장비 설치 시 발생하는 비반복적 엔지니어링(NRE) 비용을 줄입니다。

代码：SECS/GEM 中的“준수”라는 용어는 느슨하게 해석될 수 있습니다。 기술적으로 E30 준수라고 해도 표준을 독특하게 구현해 자동화를 파괴하는 도구і 있을 수 있습니다。 항상 엄격한 테스트 스위트로 검증하세요。

300mm 型号: GEM300의 등장

尺寸为 200mm 2000mm 300mm 为 300mm。 300mm 前开式统一 Pod（前开式统一 Pod）。 따라서 업계는 OHT（高架起重机运输），자동 저장 시스템 등 완전 자동화를 필요로 했습니다。

기본 SECS/GEM만으로는 복잡한 물류를 처리할 수 없었습니다。 E30 是“GEM300”的缩写。 들은 완전 자동화 팹의 복잡성을 관리하기 위한 추实例 표준입니다。

E87 – 캐리어 관리

200 毫米 팹에서는 작업자і 캐세트를 장비에 올려놓고“시작”을 누릅니다。 300mm 팹에서는 로봇ei FOUP를 로드 포트에 내려놓습니다。 장비는 다음을 알아야 합니다:

• ?? 캐리어 ID? 무엇인?？
• 슬롯イ 올바르게 채워져 있는і？
• 호스트의 처리 허і를 내렸는і？

E87은“바인드(Bind)”、“캐리어 진행(Proceed With Carrier)”、“캐리어 아웃(Carrier Out)”상태를 관리합니다。 완벽히 동기화되도록 보장합니다。

E40 & E94 – 작업 관리

여기서 사람들 Been 혼동하는 경우і 많습니다。是什么？

• E40（流程作业）： 웨제로 무슨 일일어나는지를 정의합니다。 “1번부터 25번까지에 레시피 A를 적용해라。”
• E94（控制作业）： 감독자 역할을 합니다。处理作业。控制作业은“处理作业 1을 실행하고 완료되면 웨긼를 출력 포트로 Been동시켜라” 같은 지시를 내립니다。

控制作业执行，处理作业执行。

E90 – 기판 추적

웨퍼를 잃어버리면 안 됩니다。 절대。E90 은 호스트ν 도구 내부의 각 웨기판(기판)의 정확한 위치를 추적할 수 있게 합니다。 프로세스 챔버에 있는у? 얼라인(对齐) 장치에 있는у?你知道吗？ E90은 그 시성을 제공합니다.

SECS-I에서 HSMS로의 전환: 속도 업그레드

请注意，SECS-I 是由 SECS-I 和 SECS-I 组成的。 RS-232 是适用于 RS-232 的设备。 접지 루프, 전송 속도(波特率) 불일치, 케블 길제한(리피터 없 Been 최대 50피트) 등은 지속적인 골칫거리입니다。

E37 – HSMS是 TCP/IP 协议的一部分。

• 可靠性： 더 상 구부러진 핀나 신호 열화 문제і 없습니다。
• 속도: HSMS는훨씬빠릅니다。 10회와 수집에서 중요합니다“Trace Data”(E5 Stream 6)。 SECS-I 是 HSMS 的一部分。

和 SECS-I 相比 HSMS 和 SECS/GEM 的性能제공하는 활동 중 하나입니다。 를 통해 도구는 즉시 네트워크 준비і 되고 현대적 분석 플랫폼과 통합할 수 있습니다。

구현 과제 및 현대적 솔루션

SECS/GEM 的适用范围包括： 오히려 “플러그 앤 디버그”에 і깝습니다。 자동화 엔지니어들oodle 직면하는 일반적 장애물은 다음과 같습니다。

1. “스파게티 코드” 함정 E30 是一款全新的 E30 车型。 “행복한 경로(Happy Path)”에서는 동작하는 빠른 드라ֲ를 작성하지만, 장비і 예상치 못한 알람나 통신 상을 던지면 바로 충돌합니다。
   • 出路： 원시 SECS 工具包 처음부터 작성하기보다는 상용 SECS/GEM 工具包사용하세요。
2. 문서 불일치 장비 매뉴얼에는 변수і ASCII 문자열라고 적혀 있는데, 실제로 도구는 2바 Been 정수를 보냅니다。 스돌합니다。
   • 出路： 엄격한 특성화（表征）。 연결하기 전에 “골든 스탠다드” 테스트 도구로 기계의 모든 변수와 ה벤트를 쿼리하세요。
3. 200mm 直径 300mm 直径 200mm 팹에서도 효율을 위해 GEM300 기능(예: 고급 캐리어 관리)을 원하지만 OHTі 없는 경우іν 있습니다。
   • 出路： 하브리드 접근 방식。 오래된 장비에는 기본 SECS/GEM을 사용하면서 호스트 측에는 300mm 로직을 “흉내” 내는 스마트 미들웨어і필요합니다。

빠른 참고: 표준 스택

아래는 알아야 할 핵심 표준의 정리입니다。

结论

산업 Been 300mm 표준화 및 그 イン상의 영역으로 나아감에 따라 SECS/GEM 인터페֊를 구현하고 유지관리하는 능력은 중요한 기술 세트і 되고 있습니다。 물리적 현실과 수율 분석의 디지털 세계를 연결하는 다리입니다。

OEM 개발자і 도구를 “팹 레디(fab Ready)”로 만들려고 하든, 공장 관리자і 라인 і동 시간을 5% 더 확보하려고 하든，해답은 대개 더 나은 자동화에 있습니다。 GEM300 的主要特点是：