马来西亚已发展成为东南亚最重要的半导体制造中心之一,拥有众多晶圆厂、OSAT工厂和设备OEM厂商,服务于全球电子供应链。随着工厂不断扩大自动化规模并推进工业4.0计划,一项技术几乎成为所有互联晶圆厂的核心:SECS/GEM通信协议。

对于马来西亚半导体制造商而言,了解马来西亚的 SECS/GEM 通信协议不仅仅是技术细节,更是运营的必要条件。设备无法与主机系统“沟通”,会导致数据孤岛、人工瓶颈和良率评估速度变慢。本指南将详细介绍 SECS/GEM 的定义、工作原理、对马来西亚晶圆厂的重要性,以及如何选择合适的集成方案。

什么是SECS/GEM协议?

SECS/GEM代表SEMI 设备通信标准/通用设备模型。它是由 SEMI(国际半导体设备与材料协会)制定的一套标准,允许半导体制造设备与主机(通常是工厂的制造执行系统 ​​(MES) 或计算机集成制造 (CIM) 平台)进行通信。

简而言之,SECS/GEM 是一种通用的“语言”,它使晶圆刻蚀机、芯片键合机或引线键合机能够与中央控制系统交换状态更新、配方数据、报警信息和生产事件,而无需考虑机器的制造商。这种与制造商无关的设计使得 SECS/GEM 成为全球乃至马来西亚半导体行业设备互联互通的基石。

SECS/GEM 通信的工作原理

SECS/GEM 由两个组合层组成:

  1. 通信层(SECS-I 或 HSMS): 定义数据在设备和主机之间物理传输的方式——可以通过串行连接(SECS-I),或者如今更常见的基于 TCP/IP 的网络传输。 HSMS(高速SECS消息服务)。
  2. 消息内容层(SECS-II): 定义消息本身的结构和含义——例如,设备状态、报警代码或配方参数。

除此之外,GEM 标准还定义了设备的行为——即设备必须支持哪些事件、变量和功能才能被视为符合 GEM 标准。这包括设备状态模型、事件报告、远程命令和数据采集方案等。这些层共同实现了晶圆厂设备和主机系统之间实时、结构化和标准化的数据交换。

SEMI E5 和 SEMI E30 标准

SECS/GEM 的技术基础由两项 SEMI 标准构成:

  • SEMI E5(SECS-II): 定义消息协议结构——设备和主机之间数据的格式化、传输和解释方式。它规定了状态请求、警报、配方管理等消息类型。
  • SEMI E30(GEM): 在 SECS-II 的基础上,定义了设备应遵循的通用行为模型,包括标准事件(收集事件)、变量(状态变量、设备常量)和远程命令。

对于处理 300 毫米晶圆的晶圆厂,GEM300框架下的其他标准(如 E40(加工管理)、E87(载流子管理)、E90(衬底跟踪)和 E94(控制作业管理))扩展了 GEM,以支持现代晶圆厂中常见的先进自动化场景。

SEMI E5 和 SEMI E30 共同确保不同供应商的设备能够通过一致、可预测的通信框架进行集成——这对于马来西亚半导体生态系统中常见的多供应商晶圆厂至关重要。

马来西亚半导体晶圆厂为何需要SECS/GEM

马来西亚的半导体产业——涵盖槟城、居林和巴生谷——包括晶圆制造厂、OSAT(半导体封装测试外包)供应商和设备OEM厂商。随着这些工厂扩大生产规模并采用智能制造技术,以下几个因素使得SECS/GEM项目至关重要:

  • 多厂商设备环境: 大多数晶圆厂都使用不同制造商的机器,而 SECS/GEM 确保它们都能连接到同一个主机系统。
  • 自动化需求不断增长: 全球客户越来越期望获得实时可追溯性和质量数据,这需要联网设备。
  • 劳动力和效率压力: 自动化数据采集减少了对人工记录的依赖,降低了人为错误的风险。
  • 全球供应链整合: 为国际客户提供服务的马来西亚晶圆厂需要满足与台湾、美国和欧洲相同的连接标准。

如果没有 SECS/GEM,将新设备或旧设备集成到工厂的 MES/CIM 环境中就会变得缓慢、昂贵且容易出错。

主要优点

在马来西亚的设施中实施SECS/GEM通信协议可带来可衡量的运营收益:

  • 设备连接性: 标准化的接口使晶圆厂能够连接来自多个原始设备制造商 (OEM) 的设备,而无需为每台机器进行定制的、一次性的集成。
  • 自动数据收集: 生产、质量和设备状态数据自动采集,无需人工输入,减少错误。
  • 实时监控: 工程师和操作人员可以实时了解设备状态、警报和过程参数的变化。
  • 减少人工操作: 减少人工操作环节意味着减少延误,降低车间与主机系统之间沟通不畅的风险。
  • 提高生产效率: 更快的数据流有助于更快地做出决策、更严格的收益管理以及减少停机时间。

SECS/GEM 与 MES 和工厂自动化集成

SECS/GEM并非独立运行——它的真正价值在于如何将数据融入工厂更广泛的自动化系统中。一旦设备符合GEM标准,即可将实时数据传输到MES系统,MES系统利用这些信息实现以下功能:

  • 调度和安排工作
  • 跟踪在制品(WIP)
  • 管理配方和工艺参数
  • 生成质量和产量报告
  • 触发自动警报和纠正措施

设备与制造执行系统 ​​(MES) 的紧密集成,正是马来西亚实现真正工厂自动化的关键所在——它将孤立的机器转变为互联互通、数据驱动的生产线。对于致力于工业 4.0 或智能工厂计划的制造商而言,SECS/GEM 集成通常是部署高级分析或人工智能驱动的过程控制之前的基础性第一步。

SECS/GEM 与传统设备通信

在 SECS/GEM 成为行业标准之前,晶圆厂的设备通信严重依赖于专有接口、自定义脚本和手动数据记录。与这些传统方法相比,SECS/GEM 具有明显的优势:

方面 传统传播 证券交易委员会/创业板
标准化 厂商特定,不一致 行业通用的SEMI标准
整合努力 高——每台机器的定制开发 较低级——标准化信息结构
可扩展性 难以跨供应商扩展 专为多供应商环境而设计
数据可视性 通常需要手动或延迟 实时和自动化
维护 复杂且分散 集中化和标准化

对于管理数十台或数百台设备的晶圆厂来说,这种差异会对集成时间表、工程开销和长期可维护性产生直接影响。

SECS/GEM实施中常见的挑战

尽管SECS/GEM通信协议具有诸多优势,但在马来西亚的设施中实施该协议也面临着一些实际挑战:

  • 传统设备缺口: 较旧的机器可能不具备 GEM 兼容性,需要额外的接口层。
  • 供应商实施方案不一致: 即使是符合 GEM 标准的设备,其对标准的遵循程度也可能有所不同,因此需要仔细测试。
  • 熟练人才短缺: SECS/GEM 集成需要专门的工程知识,而这些知识并非公司内部总能轻易获得。
  • 数据映射复杂度: 如果没有合适的工具,将设备数据模型与 MES/CIM 模式对齐可能会非常耗时。
  • 持续维护: 随着设备固件或 MES 系统的演进,协议驱动程序和设备接口也需要更新。

这些挑战是许多马来西亚制造商选择专用的 SECS/GEM 解决方案而不是完全在内部构建集成的关键原因。

在马来西亚选择SECS/GEM解决方案

在评估马来西亚晶圆厂的SECS/GEM集成合作伙伴或平台时,制造商应考虑以下因素:

  • 符合标准: 完全支持 SEMI E5、E30 和相关的 GEM300 标准。
  • 多厂商兼容性: 具备连接不同原始设备制造商 (OEM) 设备的成熟能力。
  • 本地支持可用性: 提供现场工程支持,以加快部署和故障排除速度。
  • 可扩展性: 能够从单一工具发展成为完全互联的制造车间。
  • MES/CIM集成的便捷性: 预构建的连接器或灵活的 API,可减少自定义开发。
  • 跟踪记录: 鉴于马来西亚地区传统设备和现代设备的混合情况,我拥有在马来西亚开展半导体自动化项目方面的经验。

选择合适的解决方案可以显著缩短部署时间并降低长期拥有成本。

结语

在马来西亚,SECS/GEM 通信协议正迅速成为半导体制造商、OSAT 服务商和设备 OEM 厂商在日益自动化、数据驱动的行业中保持竞争力的基本要求。从设备连接和实时监控到无缝的 MES 集成,SECS/GEM 为真正互联的晶圆厂奠定了基础。

对于准备实施或升级设备连接的马来西亚制造商,Einnosys提供EIGEMBox,这是一款专为简化集成、支持多供应商环境和加速晶圆厂自动化目标而设计的 SECS/GEM 解决方案,可帮助本地制造商更快地连接设备并以更高的效率运行。