业主： 韩国领先的半导体制造商
行业： 半导体制造

挑战

不断发展的半导体技术需要高效的设备通信来优化晶圆厂的运营。客户的 Centura HDP HDP-CVD 系统需要符合 SECS/GEM 标准，以增强实时监控、数据采集和自动化功能。然而，将SECS/GEM与原有系统集成却面临着诸多重大挑战：

现有基础设施不支持原生SECS/GEM。

数据交换不一致，导致效率低下。

定制化挑战在于如何适应独特的制造流程。

解决方案

为了克服这些挑战，我们部署了 EIGEMBox。这款强大的 SECS/GEM 集成解决方案弥合了传统系统与现代半导体设备之间的差距。其主要特性包括：

Centura HDP HDP-CVD 即插即用，符合 SECS/GEM 标准，只需进行极少的硬件更改。

高效的数据管理，确保设备与工厂系统之间准确的通信。

可定制的自动化功能，使操作员能够通过 GEM 消息传递来微调命令和监控。

测试与验证

我们开展了全面的验证过程，以确保可靠性和合规性：

方案验证： 所有SECS/GEM指令均按照行业标准进行了测试。

实时数据记录： 为了验证准确性，事件、警报和参数变化均被记录下来。

功能验证

EIGEMBox 集成带来了显著的改进：

100% 符合 SECS/GEM 标准实现设备间的无缝通信。

数据准确率提升30%最大限度地减少过程监控中的误差。

增强的自动化通过简化操作流程并减轻操作员的工作量，客户利用 EIGEMBox 实现了设备连接的全面升级，显著提高了生产线的效率和可靠性。这一成功案例凸显了智能集成解决方案在推动半导体制造创新方面的巨大潜力。

工作流程优化：试运行证实操作更加顺畅，减少了人工干预。