我们的客户是一家总部位于菲律宾的知名半导体制造公司，专门为全球市场生产高质量的半导体元件。该公司生产车间配备了尖端设备，包括对其光刻工艺至关重要的DNS SKW-80A-BVP光刻胶涂布显影机。

面临的挑战：

客户在使用SECS/GEM标准将DNS SKW-80A-BVP工具与其现有的工厂主机和制造执行系统（MES）集成时，面临着诸多挑战。主要问题包括：

缺乏自动化： 人工数据收集过程导致效率低下，并延误了决策。

工具兼容性有限： 该工具的原生界面缺乏内置的 SECS/GEM 功能，这使得与工厂集中式系统的通信变得复杂。

运营效率低下： 人工干预增加了生产周期，影响了整体生产率和产量。

为了在半导体行业保持竞争力，客户认识到需要一个无缝的 SECS/GEM 通信协议来增强自动化、改进过程控制并实现数据驱动的决策。

解决方案

Einnosys 提议部署其即插即用的 SECS/GEM 解决方案 EIGEMBox，以弥合 DNS SKW-80A-BVP 工具与客户 MES 系统之间的兼容性差距。实施过程包括以下步骤：

定制化集成：

EIGEMBox 配置为从工具的本地接口收集关键操作数据，并将其转换为 SECS/GEM 协议。

将旋转速度、温度和光刻胶涂层厚度等参数映射到 MES，以便将数据无缝传输到 MES。

自动通信设置：

EIGEMBox 实现了工具与 MES 之间的实时监控和双向通信，支持数据记录和远程控制命令。

系统集成了关键警报和通知功能，以便提醒操作人员注意偏差，确保及时采取纠正措施。

操作员友好界面：

我们为操作人员提供了一个用户友好的仪表盘，以便他们能够直观地查看工具性能并高效地访问诊断信息。

我们为操作人员提供了一个用户友好的仪表盘，以便他们能够直观地查看工具性能并高效地访问诊断信息。

测试和验证

为确保集成的稳健性，执行了以下流程：

模拟测试： 在部署之前，SECS/GEM 通信协议在模拟环境中进行了彻底测试，以验证其兼容性和可靠性。

性能监控： 在初始运行期间，我们对 EIGEMBox 进行了监控，以发现并纠正任何瓶颈。

操作员反馈： 我们为客户团队举办了全面的培训课程，并根据他们的反馈意见改进了系统。

功能验证

EIGEMBox的部署为客户带来了变革性的成果：

提高效率： 自动化使生产周期缩短了 25%，显著提高了产量。

实时数据可用性： 该工具现在可以与 MES 无缝通信，提供对质量控制至关重要的实时过程数据。

提高产量： 通过实现精确的监控和控制，客户观察到工艺产量提高了 15%。

操作简便： 直观的仪表盘最大限度地降低了操作人员的学习难度，提高了生产效率。

可扩展性： EIGEMBox 的即插即用特性使得客户能够以最小的努力在其他工具中复制该解决方案。

反馈

客户对结果表示满意。 EIGEMBox 解决方案强调其对生产过程的影响。

“EIGEMBox 的集成对我们来说意义非凡。它无缝连接了我们的 DNS 工具和 MES 系统，实现了更高水平的自动化和效率。我们对它的快速部署以及 Einnosys 团队提供的支持尤其印象深刻，”这家半导体工厂的运营经理表示。