客户概览

一家领先的半导体制造商因其老旧的SCREEN AS-2000晶圆清洗机（晶圆清洗的关键工具）而面临生产效率低下的问题。该设备缺乏SECS/GEM连接功能，迫使操作人员手动记录工艺数据，从而导致其符合工业4.0标准的晶圆厂出现延误、错误和合规风险。

挑战

运营瓶颈包括：

无实时监控： 人工数据记录导致缺陷检测延迟。

非标准协议： 该洗涤器使用专有接口，与晶圆厂基于 SEMI E84/E87 的 MES 不兼容。

合规风险： 无法实现FDA/ISO审核的数据记录自动化。

停机成本： 每班次浪费在人工检查上的时间超过15分钟。

功能亮点：

无需任何代码更改： 未对洗涤器的原厂软件进行任何修改。

FDC集成： 启用粒子计数异常值故障检测功能。

食谱同步： 从MES自动下载E87配方。

解决方案

客户部署了即插即用的 SECS/GEM 通信网关 EIGEMBox，用于对清洗机进行改造，使其具备以下功能：

SEMI E30/GEM 合规性

E84/E87配方管理

实时设备追踪

关键实施步骤：

协议分析： EIGEMBox 的工程师对洗涤器的专有接口进行了逆向工程。

硬件集成： 安装了一个非侵入式边缘模块来桥接通信。

GEM脚本： 根据 SEMI 标准配置事件报告（例如，进程开始/结束、警报）。

MES 测试： 与客户应用材料MES系统的数据流已验证。

4个月内实现投资回报

客户反馈

“EIGEMBox 将我们的 AS-2000 从一个数据黑洞变成了一个智能、合规的工具。我们消除了手动记录错误，并加快了智能晶圆厂路线图的推进。”

— 工艺工程经理