介绍 SEMI E30

SEMI E30,通常被称为GEM(通用设备模型),定义了制造工具的运行方式以及它们与主机系统的数据交换方式。它实现了半导体晶圆厂的一致性控制、完全可追溯性和更快的集成。

GEM为何重要

SECS/GEM 通过消除自定义集成、标准化报警、事件和数据采集,简化了设备通信。它加快了新工具的部署速度,并为高级自动化和分析奠定了坚实的基础。

GEM在实现工厂车间实时可视性方面也发挥着至关重要的作用。它为设备状态、追溯数据和远程指令提供了一个标准化的框架,使制造系统能够持续监控性能并对不断变化的生产条件做出即时响应。这种级别的控制提高了整体设备效率 (OEE),减少了停机时间,并确保了不同供应商的设备都能实现一致的工艺质量。

半 E30

关于我们

Einnosys:全球领先的IT外包服务商,专注于工厂自动化和智能技术。Einnosys 专精于工厂自动化、人工智能/机器学习、物联网、工业4.0、智能工厂解决方案和预测性维护。我们为半导体晶圆厂和设备制造商提供量身定制的解决方案,包括:工厂自动化:简化和优化制造流程;设备软件解决方案:提升性能和连接性;工业4.0解决方案:利用人工智能、物联网和机器学习技术打造智能化、数据驱动型工厂;SECS/GEM解决方案:确保无缝通信和控制。借助 Einnosys 的创新技术解决方案,实现运营转型。

核心能力(概览)

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设备状态模型

设备状态模型定义了清晰的状态和安全的转换(在线/离线、本地/远程、处理)。

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警报和事件

警报和事件标准化报告,以便更快地进行故障排除。

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远程命令与安全措施

远程命令和安全措施控制启动/停止/暂停操作,并进行适当的验证。

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配方管理

食谱管理:远程上传、选择和执行,并具有完全可审计性。

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数据收集与追踪

数据采集​​与追踪:实时订阅或流式传输过程和状态数据。

对晶圆厂和原始设备制造商的益处

对于Fabs

对于Fabs

SECS/GEM 可实现更快的工具上线、实时分析和更低的集成风险,从而实现更流畅、更可靠的自动化。

对于原始设备制造商 (OEM)

对于原始设备制造商 (OEM)

SECS/GEM 为所有客户提供统一的界面,减少了定制工作量,同时提高了工具价值,并确保符合行业标准。

EinnoSys如何提供帮助

GEM差距分析及路线图

GEM差距分析及路线图

快速评估您当前的配置,并制定优先行动计划。

界面设计与规范

界面设计与规范

与主机系统一致的详细状态机、变量/事件字典和消息映射。

实施与SDK集成

实施与SDK集成

使用简洁的 API 和模拟器进行端到端的 GEM 服务开发(工具端、网关或中间件)。

仿真与一致性测试

仿真与一致性测试

使用主机级模拟器和测试日志来验证行为、性能和合规性。

迁移与遗留系统赋能

迁移与遗留系统赋能

无需中断硬件即可在旧工具上启用 GEM 的改造解决方案。

培训及交接

培训及交接

全面的文档、操作员培训和部署后支持。

客户为何选择 EinnoSys

  • 生产优先的方法优先考虑可靠性、可追溯性和安全的远程控制。
  • 我们的模拟器和模板的加速集成缩短了主机集成周期。
  • 厂商中立的专业知识,可在各种主机、工具和中间件之间无缝协作。
  • 为支持交付物而构建的文档和测试工件,简化了交接过程。
  • 安全意识设计融入了安全网络集成的最佳实践。

升级至 GEM 合规性更快 SEMI E30

对传统工具进行现代化改造,在不中断生产的情况下实现无缝的 GEM 合规性。

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    关于台湾 SECS/GEM SDK 及集成的常见问题

    什么是 SEMI E30 (GEM)?它在半导体制造中为何如此重要?

    SEMI E30,也称为通用设备模型 (GEM),定义了制造设备如何使用标准化的 SECS-II 消息与主机系统通信。它实现了不同工具和供应商之间的一致控制、监控和数据交换。GEM 对于在半导体晶圆厂内实现互操作性、可追溯性和自动化效率至关重要。

    GEM如何帮助晶圆厂减少集成时间和成本?

    GEM通过标准化数据收集、事件处理和远程命令,消除了对复杂、定制的点对点连接的需求。这减少了工程工作量,简化了新工具的上线,并加快了生产部署速度,从而显著降低了集成成本。

    GEM标准的主要功能有哪些?

    GEM定义了以下核心功能:

    • 设备状态模型(在线/离线、本地/远程、处理中)
    • 用于实时通知的警报和事件
    • 数据收集和追踪报告
    • 用于流程控制和审计的配方管理
    • 具有安全和验证机制的远程命令

    这些功能共同实现了设备的全面可视性、更好的控制和可靠的自动化。

    GEM如何使设备OEM厂商受益?

    对于原始设备制造商 (OEM) 而言,实施 GEM 意味着拥有一个可在多个晶圆厂和客户之间通用的统一接口。它最大限度地减少了定制化工作,提高了工具的市场竞争力,增强了对晶圆厂自动化要求的合规性,并减少了长期支持工作量。

    GEM能否添加到旧版或传统工具中?

    是的。可以通过网关软件或中间件升级旧设备,这些软件或中间件可以将专有设备协议转换为 SECS-II 消息。Einnosys 专注于为旧工具加装 GEM 接口——无需进行重大硬件改动——使其与现代工厂自动化系统兼容。

    GEM和SECS-II有什么区别?

    SECS-II(SEMI E5)定义了用于通信的消息结构,而 GEM(SEMI E30)定义了设备的行为方式、数据报告方式以及对命令的响应方式。简而言之,SECS-II 是一种语言,而 GEM 是使用该语言进行标准设备控制的行为模型。