客户资料

客户：菲律宾一家领先的半导体制造公司

行业：半导体制造

挑战

该客户是半导体行业的知名企业，其应用材料公司（Applied Materials）的 CENTURA W-CVD_3CH 系统（钨沉积的关键设备）存在运营效率低下的问题。该系统现有的软件缺乏强大的 SECS/GEM 集成功能，而这对于设备与客户工厂自动化系统之间的无缝通信至关重要。这导致了以下问题：

自动化程度低：经常需要人工干预，导致生产周期延长，出错风险增加。

数据缺失：设备数据记录不完整阻碍了实时监控和流程优化。

可扩展性问题：该系统难以适应客户不断增长的生产需求。

合规性挑战：设备通信方面对 SEMI 标准的遵守情况没有得到持续满足，导致审核和认证变得复杂。

解决方案

为了应对这些挑战，Einnosys 提出部署其旗舰产品EIGEMBox。这款功能强大的 SECS/GEM 接口解决方案专为与 Applied Materials CENTURA W-CVD_3CH 系统无缝集成而设计，确保符合 SEMI E5 和 E30 标准。实施过程包括：

系统评估：对 CENTURA 系统的硬件和软件功能进行了详细分析，以确定集成点。

定制化：配置 EIGEMBox，以映射特定于客户工作流程的过程参数、警报、事件和数据收集要求。

集成：在不中断正在进行的操作的情况下，安装并测试了 EIGEMBox。

这包括：

  • 地图绘制 证券交易委员会/创业板 满足工厂 MES（制造执行系统）要求的变量。
  • 实施自定义脚本以实现工作流程自动化。

培训：为客户的工程师提供实践培训，使他们能够有效地利用新功能。

测试与验证

集成过程包括严格的测试，以确保可靠性和性能：

功能测试：验证了 CENTURA 系统与 MES 之间准确的数据交换。

压力测试：确保系统在生产高峰负荷下的稳定性。

合规性验证：确认符合 SEMI E37 HSMS（高速 SECS 消息服务）标准。

用户验收测试 (UAT)：与客户团队一起进行，以验证端到端工作流程。

功能验证

EIGEMBox 的部署彻底改变了客户的钨沉积工艺。主要成果包括：

增强的自动化：

人工干预减少95%。

通过自动选择配方和数据记录，加快流程执行速度。

提高数据准确性：

全面的数据采集实现了实时监控和高级分析。

增强可追溯性，便于合规性审计。

可扩展性：

系统无缝扩展以适应不断增长的生产量。

灵活的配置选项确保了与未来设备升级的兼容性。

注释：

完全符合SEMI标准，简化了审核和认证流程。

运营效率：

快速识别并解决设备问题，减少了停机时间。

生产周期缩短了 20%。采用 EIGEMBox 的 SECS/GEM 集成方案，彻底改变了客户的 Applied Materials CENTURA W-CVD_3CH 系统。通过自动化工作流程、增强数据管理以及确保符合行业标准，客户实现了显著的运营改进。这一成功彰显了 Einnosys 致力于为全球半导体制造商提供创新解决方案，从而提升效率和价值的承诺。