Die Organisation, die die Standards für die Halbleiterherstellung, Ausrüstung, Automatisierung und andere relevante Bereiche definiert und regelt, ist SEMI.org. Es ist eine internationale Organisation für Halbleiterhersteller und Gerätehersteller.
Von SEMI definierte Fabrikautomationsstandards sind allgemein als SECS / GEM-Standards bekannt, die für die 200-mm-Wafer-Verarbeitung vier Hauptstandards umfassen: SECS-I (E4), SECS-II (E5), HSMS (E37) und GEM (E30) ) Standards.
Lassen Sie uns verstehen, was jeder Standard abdeckt:
SECS-I (E4): Dieser Standard ist ein Kommunikationsprotokoll, das auf serieller RS-232-Kommunikation basiert. Dies ist im Vergleich zu HSMS viel langsamer.
SECS-II (E5): Diese Norm definiert, wie Informationen zwischen Geräten und einem Factory-Host in Form einer Reihe von Stream- und Funktionsnachrichten übertragen werden.
HSMS (E37): Dieser Standard definiert ein Kommunikationsprotokoll basierend auf TCP / IP.
GEM (E30): Dieser Standard definiert nicht nur die Verwendung der SECS-II-Kernnachrichten zur Ausführung bestimmter Aufgaben wie Ereignisberichte, Datenerfassung und Rezeptverwaltung, sondern kümmert sich auch um das Verhalten der Geräte bei der Verbindung mit dem Host .
Da SECS / GEM ein Kommunikationsprotokoll ist, ist es unabhängig von Technologie, Plattform und Programmiersprache. Die Hostseite einer Verbindung wird auf einem Computersystem ausgeführt, das typischerweise von der Fabrik bereitgestellt wird, und die Geräteseite einer Verbindung wird auf einem vom Gerätehersteller bereitgestellten Controller-Computer ausgeführt. Dies gibt sowohl der Fabrik als auch dem Gerätehersteller Interoperabilität, Flexibilität und Plattformunabhängigkeit. Sowohl die Fabrik als auch der OEM können ihre Softwareanwendung entwickeln, ohne sich um die Kommunikationskompatibilität sorgen zu müssen, solange beide die SECS / GEM-Standards einhalten.
SECS / Gem-Standards definieren die Kommunikation zwischen einem Host-Computer und dem Gerät in der Regel über eine einzige Verbindung. Es ist jedoch eine Mehrfachverbindung von mehr als einem Automatisierungssystem zu einem einzelnen Gerät möglich. Die von SECS definierten Nachrichtentypen sind teilweise asymmetrisch – einige Nachrichtentypen sind nur für die Verwendung durch Geräte definiert, andere nur für den Host, aber auch viele der Nachrichten sind für die ähnliche Verwendung auf beiden Seiten vorgesehen.
Die Praxis der Verbindungsfreigabe wird für neue Bereitstellungen nicht empfohlen. Es ist eine weit verbreitete Praxis, dass eine Verbindung über einen längeren Zeitraum aufrechterhalten und nur unterbrochen wird, wenn das Gerät oder der Host neu gestartet wird. SECS-Verbindungen sind leicht und verbrauchen nicht viel Netzwerkbandbreite. Es ist möglich, mehrere SECS-Verbindungen auf einem einfachen Desktop-Computer auszuführen.
Die meisten Fabriken zur Herstellung von Halbleitern, Solarzellen, FPDs und LEDs fordern Geräte, die dem SECS / GEM-Standard entsprechen. Für diejenigen, die mit SECS / GEM-Standards nicht vertraut sind, kann das Erlernen und Implementieren dieser Standards in der Gerätesoftware sehr komplex, herausfordernd und zeitaufwändig sein. Aus diesem Grund bieten wir bei eInnoSys SECS / GEM-Softwarelösungen auch für Gerätehersteller an als Fabriken. Durch die Integration der EIGEMEquipment-Plug-n-Play-Software von eInnoSys in die Gerätecontrollersoftware eines Geräts können OEMs den Zeit- und Kostenaufwand für die Kompatibilität ihrer Geräte mit SECS / GEM erheblich reduzieren. Ebenso ist EIGEMHost eine SECS / GEM-Software für FABs und Geldautomaten (Assembly and Test Manufacturing) zur Kommunikation mit verschiedenen Geräten im Werk. EIGEMSim ist eine Simulatorsoftware für SECS / GEM-Tests. Es ist eine Software, die verwendet werden kann, um als Gerät oder Host zu simulieren und die SECS / GEM-Kommunikation des anderen zu testen.