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25 Dec: 半導体機器通信規格

半導体機器通信規格: SECS/GEMの理解 半導体業界の発展において、通信規格は欠かせない存在です。その中でも「SECS」と「GEM」は、業界で標準的に使用される重要なプロトコルです。本記事では、これらの通信規格と、その背後にあるSEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)の役割について詳しく解説します。 SECS/GEMとは? まず、SECS/GEMとは何かを理解しましょう。 SECS(Semiconductor Equipment Communication Standard): 半導体機器通信規格を指し、主に機器間のデータ通信を標準化するために使用されます。 GEM(Generic Equipment Model): 製造装置の通信および制御を定義する汎用的な機器モデルです。 SEMI: 半導体業界の標準を定める国際組織であり、これらの規格を策定しています。…

22 Dec: SECS / GEMソフトウェアレビュ

eInnoSys: 業界をリードするソフトウェアレビューと改善の専門家 eInnoSysチームは、半導体、ソーラー(PV)、フラットパネルディスプレイ、LED、その他の電子機器業界における専門知識を活かし、信頼性の高いソフトウェアソリューションを提供しています。私たちは、100年以上にわたるソフトウェア設計および開発の経験を持つエキスパートの集団です。 私たちが特化している分野のひとつに、複雑な自動化ソフトウェアシステムの設計があります。これにより、複数の工場の監視や制御を効率化します。 eInnoSysのソフトウェアレビューの利点 私たちは以下のような改善を実現するため、ソフトウェアの設計をレビューし、具体的な推奨事項を提供します: 品質と信頼性の向上 より堅牢でエラーの少ないソフトウェアを提供します。 パフォーマンスの最適化 システム全体の速度と効率を向上させます。 スケーラビリティの強化 将来的な変更やアップグレードを容易にします。 再利用性の向上 複数の機器プラットフォーム間でコードを再利用することでコストと時間を節約します。 構成可能性の強化 必要に応じて特定のモジュールを簡単に変更可能にします。 成果を最大化するためのサポート 私たちは、ソフトウェア開発と機器ソフトウェア設計のベストプラクティスを活用し、プロジェクトが成功するための基盤を提供します。 詳細については、以下のリンクをご覧ください: eInnoSysのソフトウェアレビューサービス…

17 Dec: SEMICONDUCTORINDUSTRYの自動化のメリットとそれに対するEINNOSYSソリューション

SEMICONDUCTORINDUSTRYの自動化のメリットとそれに対するEINNOSYSソリューション 工場での自動化は、管理レベルで行う重要な決定です。 ファブの自動化のレベルはいくつかの要因に依存しますが、主にウェーハの開始または終了の量、機器の使用年数、プロセスの複雑さなどです。ファブの自動化の他の主な側面は、経験の種類と技術の成熟度にあります。メーカーの。 IC製造への露出が長く、熟練した人材がいるセットアップは、ファブやさまざまな生産サイト内に自動化ソリューションを統合するために、より準備が整っており、適応性があります。これには、自動マテリアルハンドリング、計画、シミュレーション、製造実行システムのシステムが含まれる場合があります。これには、生産ディスパッチングおよびスケジューリングシステム、さらに高度なプロセス制御システムなどが含まれます。 基本的な自動化には、GEM / SECSを介してレシピの選択を自動化することにより、技術者による誤ったレシピエラーの防止が含まれます。高度なファブでは、障害検出および分類(FDC)、歩留まり管理ソフトウェア、レシピ管理システム、自動マテリアルハンドリングシステム(AMHS)など、はるかに多くの自動化が行われています。 半導体製造は間違いなく最も複雑な製造環境です。この理由は、厳格な生産プロセス、再入可能なプロセスフロー、複雑で高価な機器、変動する需要、高レベルの自動化、および大量のデータです。しかし、さまざまな課題がありますが、半導体製造は多くの先進国の主要産業であり、直接および世界経済の両方に大きく貢献しています。高度に自動化されたウェーハ製造施設(ファブ)の参入により、従来の自動化範囲を拡張して高度なテクノロジーと統合するという業界の傾向があります。 半導体技術は非常に急速に成長しているため、既存の資産を使用して生産性を向上させる強い前向きな力があります。そして、この前向きな力は、既存の生産性を向上させるための完全な自動化の必要性につながる必要があります。ファブの自動化では、技術的なアップグレードを継続的に考慮する必要があります。 私たちは、世界中のウェーハファブ、組み立て、テスト施設に工場自動化ソリューション、システム統合、コンサルティングサービスを提供しています。 FABSおよびASSEMBLY施設向けにさまざまな製品を提供しています。 eInnoSysは、半導体およびPV(ソーラー)、MEMS、フラットパネルディスプレイ(FPD)、LEDなどのその他の関連業界向けの純粋な自動化企業です。機器メーカー(OEM)および工場–ファブ、ATM(アセンブリテスト製造)にサービスを提供しています。私たちは顧客志向でソリューション指向の企業であり、OEMや工場向けに自動化製品とカスタム自動化ソリューションを提供しています。 私たちは、お客様の要件に従ってシステムを構築するソフトウェアまたは自動化ソリューションプロバイダーだけでなく、お客様の技術パートナーであると考えています。優れた自動化ソフトウェアに加えて、私たちは豊富な経験に基づいてお客様に貴重な洞察を提供し、サービスを通じて最大のお客様価値を生み出すことを保証します。 EINNOSYSが、自動化の実装におけるすべての課題に対処する最も効果的な自動化ソリューションを提供するのにどのように役立つかを次に示します。私たちの経験では、ほとんどのファブオートメーションシステムのROIは1年未満であるため、非常に短期間で費用を負担できます。 当社のFabAutomationソリューションには次のものが含まれます。 歩留まり管理ソフトウェア サイクルタイムの改善 OEE /スループットの改善 Advanced…

30 Nov: SECS / GEMコントローラー/ GUIソフトウェア

近年、半導体産業をはじめとする製造業界では、自動化技術の進化がますます重要視されています。その中でも、SECS / GEMプロトコルを利用したコントローラーとGUIソフトウェアは、機器とホストシステム間の通信を効率化し、生産性を向上させる重要な役割を果たしています。 当社では、1990年代半ばからPLC(プログラマブルロジックコントローラ)やIOコントローラを活用した自動化技術に取り組んでおり、世界トップクラスのHMI(ヒューマンマシンインターフェース)、SCADA(監視制御とデータ収集)、ヒストリアン、MES(製造実行システム)、その他多岐にわたる自動化ソフトウェアの開発に携わってきた実績があります。以下に、当社の経験と開発実績についてご紹介します。 当社のコントローラーおよびGUIソフトウェアの特徴 複数のウェーハ処理および計測装置の開発 ウェーハ処理、計測、レーザースクライブ装置向けの高性能コントローラーおよびGUIソフトウェアを開発してきました。これにより、精密な制御とリアルタイムデータの取得が可能となり、製造プロセスの効率化に大きく貢献しています。 マルチチャンバー装置向けソフトウェア開発 複数のロードポートとトランスポートモジュールを備えたクラスター機器に対応するソフトウェアを開発し、複雑な製造プロセスを一元管理するための柔軟なソリューションを提供しています。 高真空機器用ソフトウェアの開発経験 高真空環境で動作するロードロックおよびトランスポートモジュールを備えた装置向けのソフトウェア開発を手掛けており、厳しい条件下での精密な制御を実現しています。 業界初のプラズマエッチング装置の開発 当社は、プラズマエッチング装置全体を開発した業界初の企業の一員として、半導体製造技術の革新をリードしてきました。 AndroidベースのSECS / GEMソフトウェア SECS / GEMを活用し、Androidデバイス向けにゼロから完全なソフトウェアを構築した実績もあります。これにより、モバイルプラットフォームでの操作性と利便性を向上させました。 当社のポートフォリオの一部…

09 Sep: 晶圆厂自动化标准– SECS / GEM和EINNOSYS解决方案

定义和管理半导体制造,设备,自动化和其他相关领域的标准的组织是SEMI.org。它是半导体制造商和设备制造商的国际机构。 由SEMI定义的工厂自动化标准通常称为SECS / GEM标准,对于200mm晶圆处理,该标准包括四个主要标准:SECS-I(E4),SECS-II(E5),HSMS(E37)和GEM(E30)标准。 让我们了解每个标准涵盖的内容: SECS-I(E4):此标准是基于RS-232串行通信的通信协议。与HSMS相比,这要慢得多。 SECS-II(E5):此标准定义了设备和工厂主机之间如何以一系列流和功能消息的形式传递信息。 HSMS(E37):此标准定义了基于TCP / IP的通信协议。 GEM(E30):该标准不仅定义了如何使用核心SECS-II消息执行特定任务,例如事件报告,数据收集和配方管理,而且还考虑了与主机连接时设备的行为。 由于SECS / GEM是一种通信协议,因此它与技术,平台以及编程语言无关。连接的主机端在通常由fab提供的计算机系统上运行,而连接的设备端在由设备制造商提供的控制器计算机上执行。这给工厂和设备制造商带来了互操作性,灵活性和平台独立性。只要他们都遵守SECS / GEM标准,制造商和OEM都可以开发其软件应用程序而不必担心通信兼容性。 SECS / Gem标准通常使用单个连接来定义主机与设备之间的通信,但是也可以从一个以上的自动化系统到单个设备进行多个连接。 SECS定义的消息类型是部分不对称的-一些消息类型仅用于设备用途,其他消息类型仅用于主机,但是许多消息在任一侧都用于类似用途。…