SECS / GEMコントローラー/ GUIソフトウェア

当社のスタッフは、1990年代半ばからPLC / IOコントローラを使用した自動化に携わってきました。彼らは、世界最高のHMI、SCADA、Historian、MES、およびその他の自動化ソフトウェア製品の開発チームの一員です。

私たちのコントローラー/ GUIソフトウェアの経験には以下が含まれます

複数のウェーハ処理、計測、レーザースクライブ装置用のコントローラー/ GUIソフトウェアの開発
複数のロードポートとトランスポートモジュールを備えたマルチチャンバー、クラスター機器用のソフトウェアの開発
ロードロックとトランスポートモジュールを備えた高真空機器用のソフトウェア開発の経験
プラズマエッチング装置全体を開発した業界初の企業
SECS / GEMを使用して、Androidで完全にゼロからソフトウェア

機器コントローラソフトウェアポートフォリオの部分的なリスト

複数のロードポートを備えたマルチチャンバープラズマエッチング装置と
トランスポートモジュール
に基づいて薄膜の応力を測定する計測機器ソフトウェア
ウェーハのトポグラフィ
レーザースクライブ装置

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