SECS (SEMI 장비 통신 표준) 및 GEM (일반 장비 모델)은 반도체 장비와 팹 호스트 간의 통신을 위한 인터페이스 프로토콜입니다. 팹…
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在将子工具(例如SMIF或FOUP,机器人处理程序,PLC,RFID阅读器或任何其他设备)集成到设备中时,您需要不仅具有技术知识和领域专业知识的人员,而且还需要了解您的设备将如何在晶圆厂中使用以及客户对您工具自动化功能的期望是什么? eInnoSys具有将来自不同制造商的各种子工具和设备与设备控制器软件集成在一起的经验,并为整个集成设备提供SECS / GEM功能。此外,由于我们在Fab自动化系统上提供服务,因此我们了解您的客户对设备软件的期望,以便更好地将其与工厂系统集成 专业领域 FOUP SMIF 机器人搬运工 可编程逻辑控制器 射频识别 IO耦合器,相机和传感器等单个设备
自1990年代中期以來,我們的團隊就致力於使用PLC/IO控制器進行自動化。我們的專家來自世界頂級的HMI(人機界面)、SCADA(監控與數據採集系統)、Historian、MES(製造執行系統)及其他自動化軟體產品的開發團隊,擁有豐富經驗和卓越技術。 我們的控制器/GUI軟體經驗 多年的技術積累讓我們能夠開發出穩定高效的控制器與GUI(圖形用戶界面)軟體。我們的專業領域包括: 為多種類型的晶圓處理、計量和激光劃片設備開發控制器與GUI軟體。 為多室及集群型設備開發軟體,這些設備擁有多個裝載端口和複雜的傳輸模組。 開發支持高通量設備的軟體,這些設備通常帶有負載鎖定功能與先進的傳輸模組。 業界首家為整個等離子體蝕刻設備提供完整軟體解決方案的公司。 開發從零開始的Android版SECS/GEM設備控制軟體。 設備控制器軟體的應用範疇 我們的控制器和GUI軟體被廣泛應用於不同類型的半導體設備,以下是部分應用範例: 多腔室等離子體蝕刻設備 支持多個裝載端口和一個高效的傳輸模組,滿足先進製造工藝的需求。 計量設備軟體 應用於薄膜應力測量,幫助晶圓製造商精準分析晶圓形貌並改進工藝。 激光劃片設備 提供高效穩定的軟體支持,提升切割精度與生產效率。 我們的核心優勢 定制化解決方案:根據不同客戶的需求設計專屬的控制器與GUI軟體,確保設備的最佳性能。 深厚的行業經驗:擁有30多年經驗的專業團隊,熟悉多種半導體製造工藝與設備。 創新與領先:業內首家開發完整等離子蝕刻設備控制軟體的團隊,持續引領技術創新。…
Electronic Design Automation (EDA) is an Industry that makes tools which helps in specification, design, verification, implementation and test of…
A bunch of Advanced Techniques used for the monitoring and controlling of the operating performance of batch and continuous processes…