SECS (SEMI 장비 통신 표준) / GEM (일반 장비 모델)은 반도체 장비와 팹 호스트 간의 통신을위한 통신 인터페이스 프로토콜입니다. Fab 호스트는 SECS / GEM 프로토콜을 사용하여 장비 처리를 제어하고 모니터링하는 소프트웨어 응용 프로그램입니다. SECS / GEM 호환 장비는 TCP / IP (SEMI 표준 E37 및 E37.1 – HSMS 사용) 또는 RS-232 (SEMI 표준 E4 – SECS-I 사용)를 사용하여 fab 호스트와 통신 할 수 있습니다. SECS / GEM 표준 인터페이스는 장비 처리를 시작하고 측정 데이터를 수집하며 제품의 레시피를 선택하고 변수를 변경하는 데 사용됩니다. SECS / GEM을 사용하면이 모든 것을 표준 방식으로 수행 할 수 있습니다. SECS / GEM 프로토콜은 비영리 협회 인 SEMI (반도체 장비 및 재료 국제)에 의해 표준화되었습니다. SEMI 표준 및 SECS / GEM 프로토콜에 대한 자세한 내용은 www.SEMI.org를 참조하십시오.
간단히 말해서 SECS / GEM 표준은 메시지, 상태 머신 및 시나리오를 정의하여 공장 호스트 애플리케이션이 제조 장비를 제어하고 모니터링 할 수 있도록합니다. GEM 표준은 공식적으로 SEMI 표준 E30으로 지정되지만 GEM 또는 SECS / GEM 표준이라고도합니다. GEM은 장치 제조업체 및 장비 공급 업체 모두에게 공통적 인 장비 동작 및 통신 기능 세트를 정의하여 기능을 제공하고 제조를 지원할 수있는 유연성을 제공하므로 이점이 있습니다. GEM 표준에는 반도체 관련 기능이 거의 없기 때문에 PV와 같은 다른 제조 산업에서도 채택되었습니다.
SECS / GEM 표준에서 제공하는 기능은 다음과 같습니다.
팹 호스트가 처리를 시작 및 중지하려면
팹 호스트가 장비에서 / 장비로 레시피를 선택, 다운로드 및 업로드
팹 호스트가 다양한 공정 파라미터 및 장비 구성 값을 장비에 쿼리
Fab 호스트가 장비 구성 매개 변수 값을 설정하는 경우
장비가 Fab 호스트에게 경보를 보내는 경우
팹 호스트가 다양한 변수의 보고서를 정의하고 로트 시작 또는 웨이퍼 완료와 같은 이벤트와 연관
장비가 다양한 이벤트 및 관련 보고서를 팹 호스트에게 전송
SECS / GEM은 통신 프로토콜이므로 프로그래밍 언어와 독립적 인 플랫폼 및 기술입니다. 연결의 호스트 측은 공장에서 제공 한 컴퓨터 시스템에서 실행되고 연결의 장비 측은 장비 제조업체에서 제공 한 컨트롤러 컴퓨터에서 실행됩니다. 이는 팹뿐만 아니라 장비 제조업체의 상호 운용성, 유연성 및 플랫폼 독립성을 제공합니다. 팹과 OEM은 모두 SECS / GEM 표준을 준수하는 한 통신 호환성에 대해 걱정할 필요없이 소프트웨어 응용 프로그램을 개발할 수 있습니다.
eInnoSys는 공장 (FAB 또는 ATM)뿐만 아니라 장비 제조업체 (OEM)를위한 SECS / GEM 소프트웨어 솔루션을 제공합니다. OEM은 eInnoSys의 EIGEME 장비 플러그 앤 플레이 소프트웨어를 장비의 장비 컨트롤러 소프트웨어와 통합하여 장비 SECS / GEM을 지원하는 데 소요되는 비용과 시간을 크게 줄일 수 있습니다. 마찬가지로 EIGEMHost는 FAB 및 ATM (어셈블리 및 테스트 제조)이 공장의 다양한 장비와 통신하기위한 SECS / GEM 소프트웨어입니다. EIGEMSim은 SECS / GEM 테스트를위한 시뮬레이터 소프트웨어입니다. 다른 시스템의 SECS / GEM 통신을 테스트하기 위해 호스트 또는 장비로 구성 할 수있는 소프트웨어입니다.
SECS는 단일 연결을 사용하여 호스트 컴퓨터와 장비 간의 통신을 설명합니다. 원래의 개념과 오늘날 가장 일반적인 시나리오에서이 장비는 단일 호스트 전용의 단일 SECS 인터페이스를 제공합니다. SECS에서 정의한 메시지 유형은 부분적으로 비대칭입니다. 일부 메시지 유형은 호스트 용으로 만 정의되고 다른 메시지 유형은 장 비용으로 만 정의되지만, 그 중 다수는 동일한 용도로 정의됩니다.
그러나 SECS 표준에는 각 메시지에 장치 식별 값을 지정하여 연결을 공유하기위한 규정이 있습니다. 새 배포에는 연결 공유 방법이 권장되지 않습니다. 연결은 장기간 유지되고 장비 나 호스트가 재부팅 된 경우에만 중단되는 것이 일반적입니다. SECS 연결은 가벼우 며 많은 네트워크 대역폭을 사용하지 않습니다. 일반적인 데스크탑 컴퓨터에서 여러 SECS 연결을 실행할 수 있습니다.