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实施SECS / GEM和GEM300标准

EIGEMSim是eInnoSys的SECS / GEM软件产品,可以用作Fab主机或设备的仿真器,以进行一致性测试。

如果您已经从另一家公司购买了SECS / GEM或GEM300软件的许可证,eInnoSys仍然可以帮助您将该软件与您的控制器软件集成在一起,并在减少集成时间和成本方面受益于我们丰富的经验。

GEM300涵盖以下SEMI标准:
E39 –对象服务标准
E40 –流程作业管​​理
E87 – CMS(运营商管理规范)
E90 –基板追踪
E94 –控制工作管理

此外,工厂客户可能会要求遵循以下其他SEMI标准:

E116 – EPT(设备性能跟踪)
E157 –模块过程跟踪
E148 –时间同步

实施SECS / GEM和GEM300标准

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