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晶圆厂自动化标准– SECS / GEM和EINNOSYS解决方案

定义和管理半导体制造,设备,自动化和其他相关领域的标准的组织是SEMI.org。它是半导体制造商和设备制造商的国际机构。

由SEMI定义的工厂自动化标准通常称为SECS / GEM标准,对于200mm晶圆处理,该标准包括四个主要标准:SECS-I(E4),SECS-II(E5),HSMS(E37)和GEM(E30)标准。

让我们了解每个标准涵盖的内容:

SECS-I(E4):此标准是基于RS-232串行通信的通信协议。与HSMS相比,这要慢得多。
SECS-II(E5):此标准定义了设备和工厂主机之间如何以一系列流和功能消息的形式传递信息。
HSMS(E37):此标准定义了基于TCP / IP的通信协议。
GEM(E30):该标准不仅定义了如何使用核心SECS-II消息执行特定任务,例如事件报告,数据收集和配方管理,而且还考虑了与主机连接时设备的行为。

由于SECS / GEM是一种通信协议,因此它与技术,平台以及编程语言无关。连接的主机端在通常由fab提供的计算机系统上运行,而连接的设备端在由设备制造商提供的控制器计算机上执行。这给工厂和设备制造商带来了互操作性,灵活性和平台独立性。只要他们都遵守SECS / GEM标准,制造商和OEM都可以开发其软件应用程序而不必担心通信兼容性。

SECS / Gem标准通常使用单个连接来定义主机与设备之间的通信,但是也可以从一个以上的自动化系统到单个设备进行多个连接。 SECS定义的消息类型是部分不对称的-一些消息类型仅用于设备用途,其他消息类型仅用于主机,但是许多消息在任一侧都用于类似用途。

不建议将连接共享的做法用于新部署。普遍的做法是,连接会保持很长一段时间,并且只有在设备或主机重新启动后才会中断。 SECS连接轻巧,不占用太多网络带宽。可以在一台简单的台式计算机上运行多个SECS连接。

大多数半导体,太阳能电池,FPD和LED制造工厂都要求使用符合SECS / GEM标准的设备。对于那些不熟悉SECS / GEM标准的人来说,在设备软件上学习和实施这些标准可能会非常复杂,具有挑战性和耗时。这就是为什么我们在eInnoSys上也为设备制造商提供SECS / GEM软件解决方案的原因作为工厂。通过将eInnoSys的EIGEMEquipment即插即用软件与设备的设备控制器软件相集成,OEM可以显着减少使设备与SECS / GEM兼容的时间和成本。同样,EIGEMHost是用于FAB和ATM(组装和测试制造)的SECS / GEM软件,用于与工厂中的各种设备进行通信。 EIGEMSim是用于SECS / GEM测试的模拟器软件。它是一款可以模拟为设备或主机来测试彼此的SECS / GEM通信的软件。

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