SECS (SEMI 장비 통신 표준) / GEM (일반 장비 모델)은 반도체 장비와 팹 호스트 간의 통신을위한 통신 인터페이스 프로토콜입니다. Fab 호스트는 SECS / GEM 프로토콜을 사용하여 장비 처리를 제어하고 모니터링하는 소프트웨어 응용 프로그램입니다. SECS / GEM 호환 장비는 TCP / IP (SEMI 표준 E37 및 E37.1 – HSMS 사용) 또는 RS-232 (SEMI 표준 E4 – SECS-I 사용)를 사용하여 fab 호스트와 통신 할 수 있습니다. SECS / GEM 표준 인터페이스는 장비 처리 시작, 측정 데이터 수집, 제품 레시피 선택 및 변수 변경뿐만 아니라 시작에 사용됩니다. SECS / GEM을 사용하면이 모든 것을 표준 방식으로 수행 할 수 있습니다. SECS / GEM 프로토콜은 비영리 협회 인 SEMI (반도체 장비 및 재료 국제)에 의해 표준화되었습니다. SEMI 표준 및 SECS / GEM 프로토콜에 대한 자세한 내용은 www.SEMI.org를 참조하십시오.
간단히 말해서 SECS / GEM 표준은 메시지, 상태 머신 및 시나리오를 정의하여 공장 호스트 애플리케이션이 제조 장비를 제어하고 모니터링 할 수 있도록합니다. GEM 표준은 공식적으로 SEMI 표준 E30으로 지정되지만 GEM 또는 SECS / GEM 표준이라고도합니다. GEM은 장치 제조업체 및 장비 공급 업체 모두에게 공통적 인 장비 동작 및 통신 기능 세트를 정의하여 기능을 제공하고 제조를 지원할 수있는 유연성을 제공하므로 이점이 있습니다. GEM 표준은 반도체 관련 기능이 거의 없기 때문에 PV와 같은 다른 제조 산업에서도 채택되었습니다.
SECS / GEM 표준에서 제공하는 기능은 다음과 같습니다.
- 팹 호스트가 처리를 시작하고 중지하려면
- 팹 호스트가 장비에서 / 장비로 레시피를 선택, 다운로드 및 업로드
- 팹 호스트가 다양한 공정 매개 변수 및 장비 구성 값을 장비에 쿼리
- 팹 호스트가 장비 구성 매개 변수 값을 설정하는 경우
- 장비가 Fab 호스트에게 경보를 보내는 경우
- 팹 호스트가 다양한 변수에 대한 보고서를 정의하고 로트 시작 또는 웨이퍼 완료와 같은 이벤트와 관련
- 장비가 다양한 이벤트 및 관련 보고서를 팹 호스트에게 전송
SECS / GEM은 통신 프로토콜이므로 프로그래밍 언어와 독립적 인 플랫폼 및 기술입니다. 연결의 호스트 측은 공장에서 제공 한 컴퓨터 시스템에서 실행되고 연결의 장비 측은 장비 제조업체에서 제공 한 컨트롤러 컴퓨터에서 실행됩니다. 이는 팹뿐만 아니라 장비 제조업체의 상호 운용성, 유연성 및 플랫폼 독립성을 모두 제공합니다. 팹과 OEM은 모두 SECS / GEM 표준을 준수하는 한 통신 호환성에 대해 걱정할 필요없이 소프트웨어 응용 프로그램을 개발할 수 있습니다.
eInnoSys는 공장 (FAB 또는 ATM)뿐만 아니라 장비 제조업체 (OEM)를위한 SECS / GEM 소프트웨어 솔루션을 제공합니다. OEM은 eInnoSys의 EIGEME 장비 플러그 앤 플레이 소프트웨어를 장비의 장비 컨트롤러 소프트웨어와 통합함으로써 장비의 SECS / GEM을 지원하는 데 소요되는 비용과 시간을 크게 줄일 수 있습니다. 마찬가지로 EIGEMHost는 FAB 및 ATM (어셈블리 및 테스트 제조)이 공장의 다양한 장비와 통신하기위한 SECS / GEM 소프트웨어입니다. EIGEMSim은 SECS / GEM 테스트를위한 시뮬레이터 소프트웨어입니다. 다른 시스템의 SECS / GEM 통신을 테스트하기 위해 호스트 또는 장비로 구성 할 수있는 소프트웨어입니다.
SECS는 단일 연결을 사용하여 호스트 컴퓨터와 장비 간의 통신을 설명합니다. 원래의 개념과 오늘날 가장 일반적인 시나리오에서이 장비는 단일 호스트 전용의 단일 SECS 인터페이스를 제공합니다. SECS에 의해 정의 된 메시지 유형은 부분적으로 비대칭 적입니다. 일부 메시지 유형은 호스트 용으로 만 정의되고 다른 메시지 유형은 장 비용으로 만 정의되지만, 이들 중 다수는 양쪽에서 동일한 용도로 정의됩니다.
그러나 SECS 표준에는 각 메시지에 장치 식별 값을 지정하여 연결을 공유하기위한 규정이 있습니다. 새 배포에는 연결 공유 방법이 권장되지 않습니다. 연결은 장기간 유지되고 장비 나 호스트가 재부팅 된 경우에만 중단되는 것이 일반적입니다. SECS 연결은 가벼우 며 많은 네트워크 대역폭을 사용하지 않습니다. 일반적인 데스크탑 컴퓨터에서 여러 SECS 연결을 실행할 수 있습니다.