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반도체 장비 통신 표준

SEMI, SECS 및 GEM에 대해 이야기합니다. 먼저이 두문자어가 무엇인지 이해합시다.

SECS는 반도체 장비 통신 표준을, GEM은 통신 및 제조 장비 제어를위한 일반 장비 모델을, SEMI는 반도체 장비 재료 이니셔티브를 나타냅니다.

SEMI (반도체 장비 재료 이니셔티브)는 SECS / GEM이라는 표준 세트를 개발했습니다. 이러한 표준은 자동화 된 장비와 호스트 간의 통신 프로토콜 집합을 정의하는 데 사용됩니다.

SEMI 표준은 1970 년대 어딘가에 존재했습니다. 이러한 표준을 도입 한 아이디어는 작지만 급성장하는 반도체 산업을 지원하는 것이 었습니다. SEMI는 다양한 반도체 장비와 팹 호스트 간의 통신 프로토콜 표준을 도입했습니다. 이로 인해 장비 또는 팹 호스트 별 통신 사양이 필요하지 않았습니다. 이러한 방식으로 이러한 표준은 네트워크 통신을 위해 TCP / IP 프로토콜을 정의하는 방법 또는 직렬 통신을 위해 RS232를 정의하는 방법과 유사합니다.

이전에는 반도체 장비와 팹 호스트 간의 통신을 처리하는 표준 프로세스가 없었습니다. 이것은 반도체 산업에서 높은 비용과 낮은 성능으로 이어졌습니다. 따라서이 상황을 해결하기위한 표준 프로세스가 필요했습니다. 여기에서 SECS / GEM에 대한 SEMI 표준이 탄생했습니다.

SECS / GEM 표준은 호스트와 장비 모두에서 구현되어야합니다. 장비는 E30, E4, E5 및 E30과 같은 다양한 SEMI 표준을 구현하고 준수하는 할당 된 컴퓨터에서 소프트웨어를 실행합니다. 마찬가지로 공장에서는 호스트 소프트웨어를 실행하여 정확히 동일한 SEMI 표준을 구현하는 데 필요한 소프트웨어를 구현하여 장비와 동일한 “언어”로 통신 할 수 있습니다.

자세한 내용은…

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