SECS (SEMI Equipment Communications Standard) / GEM (Generisches Gerätemodell) ist ein Kommunikationsschnittstellenprotokoll für die Kommunikation zwischen Halbleitergeräten und einem Fab-Host….
SECS (SEMI Equipment Communications Standard) / GEM (Generisches Gerätemodell) ist ein Kommunikationsschnittstellenprotokoll für die Kommunikation zwischen Halbleitergeräten und einem Fab-Host….