SECS（SEMI设备通信标准）/ GEM（通用设备模型）是用于半导体设备和Fab主机之间通信的通信接口协议。 Fab主机是一个软件应用程序，它使用SECS / GEM协议来控制和监视设备处理。符合SECS / GEM的设备可以使用TCP / IP（使用SEMI标准E37和E37.1 – HSMS）或RS-232（使用SEMI标准E4 – SECS-1）与fab主机进行通信。 SECS / GEM标准界面用于启动和停止设备处理，收集测量数据，选择产品配方以及更改变量。使用SECS / GEM，所有这些都可以以标准方式执行。 SECS /…
通用设备模型
让我们的专家为您节省大量费用和时间，并确保成功实现SECS / GEM的设备成功 二十多年来，eInnoSys团队成员一直在设备上实施SECS / GEM和GEM300标准，并在工厂/装配体中使用它们进行自动化。我们提供完整的交钥匙解决方案，使您的设备完全符合SECS / GEM或GEM300标准。我们的领域知识和经验不仅有助于使您的实施成功，还可以大大减少集成的时间和成本。我们的解决方案随附必需的手册，SECS / GEM和GEM300符合性报告，以及OEM可以提供给工厂客户的必需日志。 SECS / GEM＆GEM300是一套用于半导体设备和工厂主机的通信协议。这些标准由SEMI维护。虽然GEM300指的是一套300mm晶圆的通信标准，远远超过200mm晶圆的通信标准，但SECS / GEM被用作200和300mm通信协议以及其他自动化标准的通用术语。 EIGEMEquipment是eInnoSys的SECS / GEM软件，它支持200mm开箱即用的大多数SECS消息。 它符合您设备的以下SEMI标准…