한국의 SECS/GEM 소프트웨어 SDK

SECS(SEMI 장비 통신 표준)/GEM(일반 장비 모델)은 반도체 장비와 팹 호스트 간의 통신을 위한 통신 인터페이스 프로토콜입니다. 자체 장비 EIGEM300장비 는…