在将子工具（例如SMIF或FOUP，机器人处理程序，PLC，RFID阅读器或任何其他设备）集成到设备中时，您需要不仅具有技术知识和领域专业知识的人员，而且还需要了解您的设备将如何在晶圆厂中使用以及客户对您工具自动化功能的期望是什么？ eInnoSys具有将来自不同制造商的各种子工具和设备与设备控制器软件集成在一起的经验，并为整个集成设备提供SECS / GEM功能。此外，由于我们在Fab自动化系统上提供服务，因此我们了解您的客户对设备软件的期望，以便更好地将其与工厂系统集成 专业领域 FOUP SMIF 机器人搬运工 可编程逻辑控制器 射频识别 IO耦合器，相机和传感器等单个设备
SECS/GEM taiwan
从1990年代中期开始，我们的员工就开始使用PLC / IO控制器进行自动化。他们是世界上最好的HMI，SCADA，Historian，MES和其他自动化软件产品开发团队的成员。 我们的控制器/ GUI软件体验包括 开发用于多种晶圆处理，计量和激光划线设备的控制器/ GUI软件 为具有多个装载端口和运输模块的多室，集群设备开发软件 经验丰富的开发用于带负载锁定和运输模块的高空速设备的软件 业内首家开发整个等离子蚀刻设备的公司 带有SECS / GEM的Android完全从零开始的软件 设备控制器软件组合的部分清单 多腔室等离子刻蚀设备，具有多个加载端口和一个 运输模块 计量设备软件基于以下功能测量薄膜中的应力 晶圆的形貌 激光划片设备