Kommunikationsstandard für Halbleitergeräte

Lassen Sie uns über SEMI, SECS und GEM sprechen. Lassen Sie uns verstehen, wofür diese Akronyme sind.

SECS bezieht sich auf den Semi-Conductor Equipment Communication Standard, GEM auf das Generic Equipment Model für die Kommunikation und Steuerung von Fertigungsanlagen und SEMI für Semiconductor Equipment Materials Initiative.

Die Semiconductor Equipment Materials Initiative (SEMI) entwickelte eine Reihe von Standards namens SECS / GEM. Diese Standards werden verwendet, um eine Reihe von Kommunikationsprotokollen zwischen automatisierten Geräten und den Hosts zu definieren.

SEMI-Standards entstanden irgendwo in den 1970er Jahren. Die Idee hinter der Einführung eines solchen Standards war es, die kleine, aber blühende Halbleiterindustrie zu unterstützen. SEMI brachte einen Standard für das Kommunikationsprotokoll zwischen verschiedenen Halbleitergeräten und Fab-Hosts. Dadurch wurde die Notwendigkeit einer Kommunikationsspezifikation beseitigt, die gerätespezifisch oder fabelhaft hostspezifisch war. Auf diese Weise ähneln diese Standards der Definition des TCP / IP-Protokolls für die Netzwerkkommunikation oder der Definition von RS232 für die serielle Kommunikation.

Früher gab es keinen Standardprozess für die Kommunikation zwischen einem Halbleitergerät und einem Fab-Host. Dies führte früher zu hohen Kosten und geringer Leistung in der Halbleiterindustrie. Dies erforderte einen Standardprozess, um diese Situation anzugehen. Hier entstanden die SEMI-Standards für SECS / GEM.

Der SECS / GEM-Standard muss sowohl auf dem Host als auch auf dem Gerät implementiert werden. Das Gerät führt die Software auf dem zugewiesenen Computer aus, der verschiedene SEMI-Standards wie E30, E4, E5 und E30 implementiert und erfüllt. In der Fabrik wird die Host-Software ausgeführt, um die erforderliche Software zu implementieren, um genau dieselben SEMI-Standards zu implementieren, damit sie in derselben „Sprache“ mit dem Gerät kommunizieren kann.

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