当社のスタッフは、1990年代半ばからPLC / IOコントローラを使用した自動化に携わってきました。彼らは、世界最高のHMI、SCADA、Historian、MES、およびその他の自動化ソフトウェア製品の開発チームの一員です。 私たちのコントローラー/ GUIソフトウェアの経験には以下が含まれます 複数のウェーハ処理、計測、レーザースクライブ装置用のコントローラー/ GUIソフトウェアの開発 複数のロードポートとトランスポートモジュールを備えたマルチチャンバー、クラスター機器用のソフトウェアの開発 ロードロックとトランスポートモジュールを備えた高真空機器用のソフトウェア開発の経験 プラズマエッチング装置全体を開発した業界初の企業 SECS / GEMを使用して、Androidで完全にゼロからソフトウェア 機器コントローラソフトウェアポートフォリオの部分的なリスト 複数のロードポートを備えたマルチチャンバープラズマエッチング装置と トランスポートモジュール に基づいて薄膜の応力を測定する計測機器ソフトウェア ウェーハのトポグラフィ レーザースクライブ装置
